【課題】無枠式水平割鋳型における上・下型の相互のずれを検知するのに好適な方法を提供する。
【解決手段】 前記第1距離測定手段によりこれと前記上・下型の一側面との間の距離をそれぞれ測定し、これらの測定結果に基づき前記第1距離測定手段と前記上・下型の一側面との間の相互の距離差を演算し、前記第２距離測定手段によりこれと前記上・下型の他側面との間の距離をそれぞれ測定し、これらの測定結果に基づき前記第２距離測定手段と前記上・下型の他側面との間の相互の距離差を演算する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 プローブカードとテストヘッドとの距離の経時変化を検出する。
【解決手段】 ウエハプローバ１のプローブカード３と半導体集積回路試験装置のテストヘッド２との距離を検出する距離センサ６と、該距離センサ６の距離検出値を時系列的な距離データとして順次記憶するメモリ７ａと、該メモリ７ａに記憶された距離データを時系列順に一覧表示するディスプレイ７ｃとを具備する。 （もっと読む）