【課題】静電容量の大きさに拘わらず、精度の高い位置検出を行うことのできる慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法及び慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】静電容量にて移動体の位置検出を行う慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法であって、移動体の駆動を行う駆動ステップと、移動体に設けられた移動体電極と、移動体電極と対向して設けられた検出電極と、が対向する部分の静電容量を検出するための第１信号を出力する出力ステップと、出力ステップにて出力された第１信号が移動体電極と検出電極を通過して得られる第２信号を受信する受信ステップと、受信ステップで得られた受信信号に基づいて最適第１信号を演算する演算ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易で、取付位置の制約が少ない静電検出容量型回転センサの提供。
【解決手段】静電容量検出型センサは、導電体部２ａおよび誘電体部２ｂが設けられたセンサロータ２と、センサロータ２の誘電体部２ｂが設けられた面に対向するように、１対の固定電極３，４を動径方向（ｒ方向）に沿って配設する。そして、固定電極３および導電体部２ａ間の静電容量と、固定電極４および導電体部２ａ間の静電容量との合成静電容量をＣＶ変換回路５により検出する。誘電体部２ｂの厚さは、回転時における静電容量が周期的に変化するように構成されている。 （もっと読む）