【課題】２枚を貼り合わせてなる音叉状水晶片の音叉溝を平坦として音叉振動と垂直振動の結合を防止し、検出精度及び感度を高める角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】２枚の音叉状水晶片を、互いの±Ｘ軸方向を異ならせて貼り合わせた角速度センサ素子において、結晶軸（ＸＹＺ）を有する２枚の水晶ウェハのＹ軸及びＺ軸方向を一致させるとともに±Ｘ軸方向を異ならせて貼り合わせ、前面及び後面の水晶ウェハをエッチングによって、Ｘ軸を幅、Ｙ軸を長さ、Ｚ軸を厚み方向とした音叉基部２と一対の音叉腕部３からなる音叉状水晶片に加工してなる音叉型の角速度センサ素子の製造方法において、前面の水晶ウェハの＋Ｘ軸を、音叉基部からの前記音叉腕部の延出方向に対して直交する方向の左側に一致させて貼り合わせた製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 電源電圧の変化や周囲温度の変化等の影響を受けない安定性の高い発振回路と、これを用いた角速度センサを提供する。
【解決手段】 電源を印加すると、起動補償回路２４のゲインが大きく設定され、大きな駆動電圧Ｖａによって圧電振動子１１が振動し、短時間に起動する。比較手段３２から出力される制御電圧Ｖ３２によってＡＧＣ回路２５のゲインが制御されると共に、起動後の安定時には回路２４のゲインが小さく設定され、出力電圧Ｖｏｕｔが基準電源回路３１の出力に対応して一定振幅になる様な駆動電圧Ｖａによって圧電振動子１１が振動する。圧電振動子１１に生じたコリオリ力による応力の検出信号が、同期検波回路４４においてＩ／Ｖ変換回路２１の出力信号によって同期検波され、圧電振動子１１の角速度に応じた信号が検出される。 （もっと読む）

【課題】 振動子素子を角速度センサとして使用する場合、周囲の温度変化、電源電圧の変化などによって励振振幅が安定していないと良好なセンサ特性（励振振幅を一定に保つのは困難）が得られにくく励振回路で振幅を調整する方法が採られていたが、励振回路に依存せず素子自体の励振振幅を安定する素子の実現を目的とする。
【解決手段】振動子素子の励振電極の存在するアームに、励振電極とは別に励振振幅検出用電極を形成する。励振電極に印加された励振振動信号によって、振動子素子の励振アーム内には交流電界が発生し、励振アームは所定の方向に振動し始める。この交流電界の変化を、励振振幅検出用電極で検出すると、励振振幅に応じた電圧となる。この電圧を励振回路の振幅比較手段に帰還させ、励振振幅調整手段を通して励振振動信号を調整することにより、励振振幅を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造で、かつ複数の運動要素を検出することができる、振動体を応用した運動センサの構成を提供すること。
【解決手段】 平板状の圧電材料で主体が形成され、板面内に基部を設けると共に、２脚または３脚の片持ち平行脚より成りコリオリ力を検出する振動型角速度センサ部、あるいは一端に設けた付加質量から印加される慣性力に従って発振周波数が変化する１個または複数個の棒状振動体あるいは音叉型振動体より成る振動型加速度センサ部が設けられており、３軸の角速度または３軸の加速度のうち複数の運動要素に対して撓みまたは発振周波数が変化するように構成したこと。捩り要素を含む形態あるいは２次の屈曲振動モードを用いた振動型角速度センサをも含む。 （もっと読む）

【課題】 角速度検出ジャイロスコープの精度と効率を改善するための構造と配列を開示する。
【解決手段】 電圧ピックオフ用導体が、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的にゼロの応力を受ける角速度検出ジャイロスコープの共振エレメントの表面に取付けられている。同じように、ジャイロスコープが回転的に静止している場合に実質的に均一なレベルの応力を受ける共振エレメントの領域によって規定される箇所に、アクチュエータ用導体が共振エレメントに取付けられている。圧電共振エレメントの電圧応答を改善する方法も開示されている。 （もっと読む）