【課題】試料の径が大きくなっても、試料に対応した大面積の面状のＸ線検出器を、Ｘ線トポグラフの分解能を低下させること無く、使用できるようにする。また、試料の径が大きくなったことに対応して大面積の面状のＸ線検出器を使用することになった場合でも、Ｘ線検出部の全体形状を大きくしなくて済むようにする。
【解決手段】試料１１を線状のＸ線で走査したときに試料１１で回折したＸ線をＸ線検出器２８によって検出して平面的な回折像を得るＸ線トポグラフィ装置である。Ｘ線検出器２８は試料１１よりも大きい面積を有する円筒形状のイメージングプレート２８であり、線状のＸ線の走査移動Ｆに関連させてイメージングプレート２８を円筒形状の中心軸Ｘ０を中心としてα回転させる。円筒形状の中心軸Ｘ０は線状のＸ線の走査移動方向Ｆと直角方向に延在する。 （もっと読む）

【課題】 各種のトポグラフィとロッキングカーブ測定法が一台の装置で可能なＸ線単結晶評価装置を提供する。
【解決手段】 単結晶試料ＳＭを保持してＸ線発生装置３０から出射されるＸ線を照射して回折Ｘ線を生じるＸ線回折部２０と、Ｘ線回折部において試料で回折したＸ線を受光するＸ線検出部１００とを備えたＸ線単結晶評価装置は、Ｘ線発生装置から出射して単結晶試料に照射される光路部４０の一部に、結晶コリメータ４７が選択的に挿入可能なコリメータ４５を備え、かつ、Ｘ線検出部は、Ｘ線ＴＶ１１０とシンチレーションカウンタ（ＳＣ）１２０とを備えており、このＳＣは移動可能で、その移動位置によってアナライザ結晶１２１が挿入可能である。 （もっと読む）