本発明は、複数の狭小金属領域を有する構造を評価する方法に関し、各領域は、第2の非金属材料を有する隣接領域間に設置される。本方法は、熱グレーティングを形成するため、励起ストリップで構成される空間周期励起場を用いた照射によって、前記構造を励起するステップを有する。さらに本方法は、熱グレーティングの生じない検出レーザー光線を回折させて、信号光線を形成するステップと、時間の関数として信号光線を検出して信号波形を形成するステップと、信号波形の熱成分に基づいて少なくとも一つの構造特性を決定するステップと、を有する。
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【課題】 短時間で基板の熱的性質を判定できる方法及びオープンループステップの熱処理条件を決定できる方法を提供する。
【解決手段】 本発明の基板の熱的性質判定方法によれば、ウェハＷを加熱するためのランプ９とランプ９に対向配置された温度センサＴ１〜Ｔ７とを備えた急速熱処理装置１内で、ランプ９と温度センサＴ１〜Ｔ７との間に配置されたウェハＷにランプ９を用いてパルス加熱を施しながら、温度センサＴ１〜Ｔ７から逐次出力される温度データを得る。その後、当該温度データを用いてウェハＷの熱的性質を判定する。 （もっと読む）