【課題】酸素などの特定ガスの存在などを利用せず、気体中の水素などのガス濃度を、小型で、ガスの選択性が高く、高感度のガスセンサ素子とこれを用いたガス濃度測定装置を提供する。
【解決手段】基板１から熱分離した薄膜１０を二つの薄膜に互いに熱抵抗を有するように熱抵抗部４５を設けた構造で分割し、一方の薄膜にはヒータと温度センサ２０a、他方の薄膜にはガス吸収物質５と温度センサ２０ｂを備え、ヒートサイクルと組み合わせて、このガス吸収物質５での主に被検出ガスの吸収、放出時の吸熱、発熱に伴う温度変化を温度センサ２０ｂにより計測するガスセンサ素子と、これを用いたガス濃度測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】光路長の制御による観測時間領域の制限を無くし、パルスレーザーを用いたサーモリフレクタンス法の測定対象拡大を図る。
【解決手段】測定対象励起用の励起パルス光として超短パルス光を測定対象に照射する一方、プローブパルス光を該測定対象に照射して、その反射光を検知することにより該測定対象の温度変化を観測する。個別に電気的に制御可能の測定対象励起用のパルスレーザーと、プローブ用パルスレーザーの２台を用意し、励起パルス光の測定対象照射時に対するプローブ用パルス光の測定対象照射時刻の差を電気的に制御することにより、励起パルス光とプローブパルス光の時間差に依存して変化する信号を検出する。 （もっと読む）

本発明は、小さな厚さの少なくとも１層の表面層（１４０）、およびそれが上に配設された厚い基板（１４１）を備える材料（１４）を、能動的高温測定を使用して特性化する方法に関する。この方法は、次の、材料（１４０）の表面（Ｚ_ＴＨ）を、サイクルからサイクルへの熱の蓄積を伴う一連の「温度上昇／低下」熱サイクルを実施するように、高レートのレーザパルスで露光することにより加熱するステップと、放出される放射を収集する（１６、１７）ステップと、その放射を、センサ（１５）を使用して測定するステップと、測定された信号を、材料を特性化するための熱物理的特性を得るように、モデリングによって得られた理論値と比較することにより取得および処理する（１８）ステップとを含む。本発明は、熱源として使用される高レートでパルス化されるレーザ（１０）を備えた、この方法を実施するための装置（１）にも関する。 （もっと読む）

【課題】測定対象とする試料に加工を施すことなく、試料の熱特性を高感度で測定できること。
【解決手段】試料１にパルス光Ｌ０を照射して弾性波を生じさせ、試料１との間にその試料１に生じる弾性波を伝搬するカップリング材２が充填された状態で金属薄膜１１が配置され、その金属薄膜１１の表面に測定光（レーザ光）を照射して表面プラズモン共鳴を生じさせるとともに、パルス光Ｌ０の照射によって試料１に弾性波を生じさせ、光検出器６により測定光Ｌ１の金属薄膜１１に対する反射光Ｌ２の強度を検出する。予め、反射光Ｌ２の検出結果に基づいて、測定光Ｌ１の照射角度θを調節することにより、金属薄膜１１表面の熱弾性特性を高感度で測定できる状態に調節する。 （もっと読む）

【課題】ビアホールを介して電気的に接続された電極が両面に配された基板、またはビアホールに導電性ペーストが充填された基板の検査を安価に行うことができるようにする。
【解決手段】第１面１ａ、第２面１ｂの両面に配された電極２ａ，２ｂがビアホールを介して電気的に接続された多層配線基板１を加熱または冷却する温度可変手段３と、多層配線基板１の第１面１ａを温度可変手段３に密着させる基板密着手段９と、温度可変手段３によって加熱または冷却された多層配線基板１の第２面１ｂの温度分布を測定するサーモグラフィ（温度分布測定手段）４と、サーモグラフィ４で測定された温度分布に基づいて両面の電極間の接続状態の良否を判定する良否判定手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 流体試料中の被測定物質を同時に測定でき、容易に定性分析することができると共に被測定物質の励起エネルギー間の測定誤差を減少させることができる検出方法及び当該検出方法を用いたマイクロ化学システムを提供する。
【解決手段】 検出光光源１６からＣＷ発振された波長７８０ｎｍの検出光を微細流路１内の被測定物質に照射し、波長がそれぞれ６５８ｎｍ及び５３２ｎｍである励起光を周波数がそれぞれ１ｋＨｚ、及び１．２ｋＨｚであるＤｕｔｙ５０％の複数の点滅励起光に変調して微細流路１内の被測定物質に照射し、照射された点滅励起光に起因して形成された熱レンズにより屈折した検出光を点滅励起光の周波数成分毎に同時に検出し、検出された検出光の信号をＰＤ２１からＩＶアンプ２２を介して信号処理装置としてのＰＣ２４に導いた。ＰＣ２４ではＦＦＴ処理を行い、各周波数成分毎に信号強度を測定した。 （もっと読む）

【課題】
薄膜試料測定上の特徴を有する熱物性顕微鏡、すなわち薄膜試料熱物性測定装置の操作をより簡便にして使い勝手をよくする。
【解決手段】
可変の加熱周波数に対する熱反射信号との位相差を模式的に示す曲線であって、該曲線が変曲部分を持つ参照用の加熱周波数−加熱周波数に対する熱反射信号の位相差を示す画面が基板における既知の熱浸透率に対し熱浸透率の小さい薄膜試料，熱浸透率の大きな薄膜試料および熱浸透率の不確定な薄膜試料のいずれかを画面上の指定項目で指定することによって指定に対応してそれぞれ表示され、かつ該画面には試料名，基板名，変曲点，熱浸透率，熱伝導率および単位体積当たりの熱容量が表示される画像表示装置を備える。 （もっと読む）

【課題】音エネルギによって付勢された構造を熱画像化する欠陥検出システムを提供すること。
【解決手段】このシステム（１０）は、音信号を構造（１２）の中に結合するトランスデューサ（１４）を含み、構造（１２）の中で音信号は、欠陥を加熱させる。ある実施例では、音信号は、構造（１２）の固有モードにおける又はそれに近い１つ又は複数の周波数を有している。別の実施例では、非線形結合物体（１６）がトランスデューサ（１４）と構造（１２）との間に配置され、トランスデューサ（１４）からの音エネルギを構造（１２）に結合させる。所定の力（２６）が、トランスデューサ（１４）に与えられ、音信号のパルス継続時間とパルス周波数とは、音エネルギが音響カオスを構造（１２）において誘導し、従って、熱エネルギを増加させるように、選択される。熱画像化カメラ（２２）が、構造が音信号によって加熱されると、その構造を画像化する。 （もっと読む）

本発明は、物体の少なくとも１つの物性値を判定する方法に関し、物体の内部で時間的に変化する温度領域を生成するステップと、物体内で第１の複数の測定値を検出し、第１の測定値は第１の位置における少なくとも１つの第１の温度値と、前記第１の位置から離れた第２の位置における少なくとも１つの第２の温度値とを含むステップと、第１の測定値に基づいて物性値を判定するステップとを含むことを特徴とする。
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【課題】加熱光と検出光との位置関係の変動、環境要因変化に依存して生じる前記加熱光の高周波成分に基づく測定結果の変動を極力防止し、これにより前記熱物性測定の再現性、信頼性を高く保ち、また、試料の熱伝導率と体積熱容量とを個別に測定可能な熱物性測定装置を提供すること。
【解決手段】試料７における加熱光Ｅの照射位置、検出光Ｄの照射位置を測定し、その測定結果に基づいてダイクロイックミラー１９の向きを変位させ、両者の照射位置が予め定められた目標相対位置関係となるように加熱光Ｅの照射位置を調節する。また、断続光に変換された加熱光Ｅを加熱光測定器２４により検出し、その検出結果に基づいて歪波成分を除去するようにドライバ８に入力する強度変調信号の調節を行う。また、ビーム調整器１８ａにより試料７における加熱光Ｅの照射径を調節して複数回測定した測定値に基づき、試料７の熱伝導率と体積熱容量とを個別に測定する。 （もっと読む）

【課題】金属ガラスの線膨張率、ガラス転移温度、及び結晶化開始温度などの熱特性を測定することにある。
【解決手段】既知の線膨張率の部材からなり、変形可能な梁部１と、梁部１の面に形成される試料薄膜３と、梁部１の温度を制御する温度制御装置と、梁部１の変形を測定する変位測定装置５と、を備え、梁部１の温度変化により梁部１と試料薄膜３のバイメタル効果による変形を測定する、熱特性測定装置、又は熱特性測定方法。
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【課題】熱レンズ顕微鏡には、５ナノメーター以下の小さいタンパク質が検知できない、マイクロ流路を流れる試料総量の１％以下しか検知できない、という課題がある。
【解決手段】流路の周囲に電極を備えたマイクロ流路内で、タンパク質だけが加熱される交流電圧を印加してタンパク質試料の周囲に温水塊を励起し、周囲の水より低い誘電率の温水塊を誘電泳動力で集束することと、周囲の水より小さい屈折率の温水塊を熱レンズ顕微鏡で検知することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
サーモリフレクタンス法による高速検査可能な測定装置及び方法の提供。
【解決手段】
ニポウディスク１２０を有する共焦点光学系を備え、共焦点光学系を介して被検査対象のサンプルの複数の箇所に、検査用と加熱用レーザ光を照射し、被検査対象のサンプルからの複数の箇所からの反射光に基づき複数の箇所の熱物性情報を同時に取得する。 （もっと読む）

【課題】 簡単且つ低コストな方法により，試料に照射される励起光の強度を上昇させ，分析精度の高い光熱変換測定装置，及び光熱変換測定方法，或いは試料セルを提供すること。
【解決手段】 光源から試料セル３に向けて照射される励起光Ｅのうち，前記試料セル３に吸収されずに透過した部分を，再び前記試料セル３に向けて反射（偏向，再照射）する反射ミラー７ａ（励起光偏向手段の一例）を有することを特徴とする。前記反射ミラー７ａは平面鏡であり，前記励起光Ｅの入射方向に直交するように配置される。これにより，透過した前記励起光は前記試料セル３のうちの前記励起光Ｅが最初に照射される部分と同一部分に照射される。 （もっと読む）

【課題】温度波熱分析法を用いてレーザー結晶や非線形結晶などの光学結晶のように熱伝導率の高い物質の熱拡散率を精度よく測定する。
【解決手段】被測定物の厚さ方向において対向する一方の側に交流電流を通電すると交流発熱する交流ヒーターを配置し、上記被測定物の厚さ方向において対向する他方の側に上記交流ヒーターと対向して温度波を測定する温度波測定用センサーを配置して、上記交流ヒーターにおける交流発熱の温度波形と上記温度波測定用センサーにより測定される温度波形との位相差に基づき上記被測定物の熱拡散率を測定する温度波熱分析法による物質の熱拡散率測定方法であって、上記被測定物の厚さ方向における上記一方の側において、上記交流ヒーターの周囲の少なくとも一部を取り囲む第２の交流ヒーターを配置し、上記交流ヒーターと上記第２の交流ヒーターとに同一の周波数かつ同一の位相の交流電流を通電する。 （もっと読む）

【課題】対象の熱伝達特性の測定や，熱負荷を利用した非破壊検査を精度よく行うためには、対象の加熱乃至は冷却に、空間分布と時間制御の精度が必要になる。しかし、この二つの要求を同時に満足できる加熱・冷却法は少ない。本発明は、簡便で安価に、空間的一様性と時間制御性を兼ね備えた加熱・冷却法を提供し、さらにこの方法を利用した熱伝達特性測定法を提供することを目的とする。
【解決手段】 流体に圧力変動を加えて流体温度を変動させ、この温度変動を利用して対象を加熱乃至は冷却する。そして、流体乃至は流体に接する物体に生じる温度変化を検出し、検出された温度変化に基づいて、流体乃至は物体の熱伝達特性を測定する。 流体中の圧力変動は音速で伝播するから、広い領域にわたる一様な加熱冷却が可能である。さらに、流体中の温度変動の信号を得ることも容易であり、加熱冷却の時間制御を極めて高精度に行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】 簡易で容易な測定素子、電源装置、測定装置の構成により対象土壌の水分量を測定する。
【解決手段】 あからじめ測定対象の乾燥土壌の比熱基準値をペルチェ素子１０で測定しておく。ペルチェ素子１０を測定対象の土壌内に埋設して電源１から供給される一定電流を、所定時間通電してペルチェ素子を所定温度までの温度上昇させる。通電停止後の電圧降下までを測定解析装置２０で測定、解析し、これらの測定データと比熱基準値との相関式へのあてはめを行う。これにより測定対象の土壌水分量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ヒータ抵抗に供給するまでの回路素子の電圧降下分がある場合であっても、適切な電圧をヒータ抵抗に供給することができるヒータ駆動回路を提供する。
【解決手段】 液体に含まれる所定の要素の濃度に応じた温度変化を検出するに際して、ヒータ抵抗に電圧を印加させるヒータ駆動回路において、所定の基準電源を昇圧させて、昇圧電源を発生させる昇圧回路３１と、昇圧回路３１からの昇圧電源によって駆動し、ヒータ抵抗への出力電圧と所定の基準電源とを比較して、ヒータ抵抗への出力電圧を制御するオペアンプからなる電圧制御回路３２と、電圧制御回路３２からの出力電圧がベース端子に接続され、所定の基準電源がコレクタ端子に接続され、ヒータ抵抗がエミッタ端子に接続されたエミッタフォロア型の出力回路３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】超音波処理装置の処理能力を非接触で正確にかつ簡単に評価することができる超音波処理装置の評価方法を提供する。
【解決手段】超音波反応装置１０は、超音波を照射するための超音波振動子１３と、その超音波を被処理液体Ｗ１に照射してその被処理液体Ｗ１の化学反応を誘起させるための反応槽１２とを備える。赤外線サーモグラフィ２０は、超音波照射時に被処理液体Ｗ１から放射される赤外線放射エネルギーを反応槽１２を介してその外部から検出し、反応槽１２内の音場をその赤外線放射エネルギーに応じた温度分布として可視化する。制御装置３０は、その温度分布のデータを赤外線サーモグラフィ２０から取得して、反応槽１２の処理能力を評価する。 （もっと読む）

【課題】熱物性顕微鏡を用いて試料の熱反射信号を測定し、試料表面の微小領域及び薄膜の単位体積あたり熱容量、熱浸透率、熱拡散率を高い空間分解能により測定すること。
【解決手段】 モリブデンを成膜した参照試料表面を加熱用レーザビームにより加熱し、この加熱位置に加熱用レーザ径より小さな測温用レーザを照射し、検出したサーモリフレクタンス信号光に基づいて参照試料表面の温度変化の振幅を測定する。振幅を測定し表面のレーザに対する吸収量とサーモリフレクタンス信号の温度係数を求める。モリブデンを成膜した測定試料表面の温度変化の振幅の測定値を代入した式１と測定試料の位相の測定値を代入した式２とから薄膜の熱拡散率α及び熱浸透率ｂを求める。熱伝導率λ及び単位体積あたり熱容量Ｃを求める。 （もっと読む）