【課題】濃度分布の分解能を図ることを可能にすると共により高い応答性の確保を可能とし、且つノズル形状の特定を容易とし、熱線濃度計そのものも小さくすることを可能とする。
【解決手段】ノズル部１９を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した。シリコンウェハの表面に絶縁層を製膜すると共に該シリコンウェハに吸引部に接続させるための接続流路を形成する第１の工程と、絶縁層の表面に、センサ部をスパッタリングにより形成する第２の工程と、絶縁層の表面に、センサ部に接続した配線部を蒸着する第３の工程と、配線部の端末に、電極を蒸着する第４の工程と、絶縁層の表面にポリイミド層をコーティングする第５の工程と、ポリイミド層にノズル部及びノズル部に連通しセンサ部を臨ませ接続流路３１に連通する流路をエッチングする第６の工程とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱式センサーを用いた流体識別の際に、外部振動等によって流体タンク内の被識別流体が揺れた場合であっても、誤差が生じず、精度良く流体識別することができる流体識別装置を提供する。
【解決手段】前記被識別流体と接触するセンシング部を有する流体識別センサーと、センシング部を囲繞するように包囲する内カバーと、内カバーを囲繞するように包囲する少なくとも１層の外カバーとを備え、内カバーには、内カバーの内部と外部において被識別流体の交換が可能となる流体流入出孔が少なくとも２箇所以上設けられているとともに、外カバーには、外カバーの内部と外部において被識別流体の交換が可能となる流体流入出孔が少なくとも２箇所以上設ける。 （もっと読む）