マルチウェーハ構造体を有する光学分光計（１０、２０、３０、４０、５０）を提供する。構造体は、ＭＥＭＳ技術を用いて製造可能である。分光計は、流体アナライザー（１１０）と統合可能である。発光点（１７）及び検出器（１９）と共にローランド円（１５）の円周上に位置する回折格子やホログラフィー格子のような反射型格子（１４）は、分光計の構成体である。いくつかの構成体は、円上の発光点（１７）に光を光学的に搬送しうる場合、外部光源を使用可能である。流体アナライザーにおける光（４８）とチャネル中のサンプル又は相互作用フィルム（４９）との相互作用が分光計の発光点である場合、ラマン構成体が利用可能である。分光計のいくつかの構成体では、格子（１４、５５）及び／又はフィルムは、反射型又は透過型である。
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【課題】センサーの感度をアップさせ、センサーの選択性を改善した光導波路センサー、その製造方法及びその用途を提供する。
【解決手段】光導波路(Glass waveguiding layer)の表層に設置された光増幅層 (The tapered film of high-index material)の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆したことを特徴とするメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法、及びこれを、VOC, NO_x, CO₂, アンモニア、環境ホルモンから選ばれる１種以上の検出に用いること。 （もっと読む）

電極（５３）で形成したグロー放電ギャップを備えたマイクロプラズマセンサシステム。感知すべき流体はギャップにおいて放電（５６）の近くに送られ得る。放電からの光は、流体の性質を決めるため分光分析装置又はプロセッサに結合され得る。カップリングが放電ギャップの近くに導波管（６３）を備え得る。窓のクリーン性及び電極の電気分離は、放電によって維持され得る。光学分析装置は、検出器（２３）に対する１つ以上の光学チャンネル用のフィルタ（２２）を備え得る。検出器は処理すべき電気信号を出力し得る。電極（５３）はそれら電極間に光導波管（６３）を備える。又は、電極（５３）は、光導波管（６３）のまわりに同心的に形成され、他の電極と環状放電ギャップを形成する。光導波管（６３）は１つ以上の光学繊維であり得る。
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【課題】被測定物質および測定誤差発生物質を含む媒体のサンプリングや前処理を必要とせず、媒体中の被測定物質濃度の直接測定を可能とする。
【解決手段】被測定物質と測定誤差発生物質からなる媒体にパルス光を照射し、媒体を通過したパルス光の受光光量とパルス光照射による被測定物質が蛍光する蛍光光量を検出し、検出されたパルス光の受光光量値を媒体が被測定物質のみから成り、測定誤差発生物質を含まない状態の媒体で作成した受光光量値と濃度との相関関係式から求めた、媒体が測定誤差発生物質を含まないと仮定した被測定物質の第１の見掛け濃度と、検出された蛍光光量値を媒体が被測定物質のみから成り測定誤差発生物質を含まない状態の媒体で作成した蛍光光量値と濃度との相関関係式から求めた、媒体が測定誤差発生物質を含まないと仮定した被測定物質の第２の見掛け濃度とを相殺演算して媒体中の真の被測定物質濃度を得る。 （もっと読む）

グロー放電ギャップを有するマイクロ・プラズマ・センサ・システム。検知される流体が、ギャップでの放電の近傍に持ってこられる。放電からの放出光は、流体の特性を判定するために光スペクトル分析器に結合される。この結合のために、窓と、放電ギャップに近接した粒状物質検出電極とを含む。窓の清浄状態及び電極の電気的分離は、この放電により維持される。光分析器は、光検出器に向かう２又はそれより多くの光チャネルに対する個々のバンドパス・フィルタ、又は光検出器のアレイに向けての波長に応じた様々な角度で放出光を分散させる格子又はプリズムを有する。光検出器は、処理される電気信号を出力する。
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