【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）

【課題】プロセスを能動的に制御でき、オペレータが移動を随意に制御でき且つ複数個の領域を個別に制御できるようにする。
【解決手段】基板１１０上に複数個の進行波電極１６０を配置し、更に、その内部に標本Ａ，Ｂを収容して移送することができるよう基板１１０上に媒体層１３０を配置する。媒体層１３０内に標本Ａ，Ｂが入っている状態で、バス１４０やビア１７０等の手段を介し進行波電極１６０にアドレスして少なくとも一種類の適切な電気信号を進行波電極１６０に印加すると、基板１１０上のある位置から別の位置へとその標本Ａ，Ｂが随意に移動する。これによって、顕微鏡観察イメージングシステムに使用できるサンプルマニピュレータ１００が得られ、能動的、随意且つ領域別制御が可能になる。 （もっと読む）