湿度センサのための防護装置であって、周囲にある測定媒体と防護キャップ（１０）の内部空間との間の物質交換が隔膜（１２）を通じてのみ行われ得るように隔膜（１２）で覆われた開口部（１１）を有する防護キャップ（１０）を備え、前記隔膜（１２）は水に対する高い透過性と、高い耐熱性と、腐食性物質に対する高い耐性とを有するプラスチックでできている。
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【課題】 燃料電池システムなどにおいて使用する水素センサへの水の付着を最小限にし、検知精度を向上する。
【解決手段】 検知素子２４及び基準素子２３を内蔵させた検知ヘッド１３を、被検知ガスが流れる配管２の壁部から管内に突出させた断熱材からなる支持アーム１２により支持して、配管２内の流れの中に配置する。そして、検知ヘッド１３に、検知素子２４に被検知ガスを導くガス導入口２５を被検知ガスの流れと逆方向に開口させる。 （もっと読む）

【課題】 液体が侵入する恐れのある膜を用いることなしに気液分離フィルタ部を形成する。
【解決手段】気液分離チップの気液分離フィルタ部３はシリコン基板１に異方性ドライエッチングにより形成された多数の針状突起物を有するブラックシリコンと称されるものである。シリコン基板１上には接着性フッ素樹脂５によってガラス基板４が接合されて流路６が形成されている。気液分離フィルタ部３と流路６はともに紙面垂直方向に延びている。気液分離フィルタ部３で液相と気相との界面でガス移動が行なわれる。 （もっと読む）