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Fターム[2G064BD09]の内容

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【課題】検出感度の向上を図ることの可能な磁界検出型の物理量センサ及びマイクロフォンを提供する。
【解決手段】被検出磁界を形成する磁界形成部10と、被検出磁界の第1方向成分Hxに応じた電気信号を出力する磁界検出部4と、外部からの振動入力に応じて第1方向xと交差する第2方向yに磁界形成部10と磁界検出部4とを相対振動させる振動薄膜3とを備えたマイクロフォン1において、磁界形成部10を、磁界検出部4の第2方向y一方側に配置され一組の磁極間に第1磁界H1を発生する第1磁界発生部11と、磁界検出部4の第2方向y他方側に配置され一組の磁極間に第2磁界H2を発生する第2磁界発生部13とから構成する。これにより、第1磁界発生部11と第2磁界発生部13との間に互いの第1方向成分が逆向きの第1磁界H1と第2磁界H2との合成磁界である被検出磁界を形成する。 (もっと読む)


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