【課題】 感度の経年変化が小さく、かつ特性ばらつきが小さい振動センサを提供する。
【解決手段】 回路基板と板状圧電素子とを収容する空間を備えた基台と、少なくとも一方の面に圧電素子が接着剤を介して支持されるように基台内に配置された支持板とを備える振動センサであって、支持板は圧電素子の外径より大きな外径を有するとともに両端部が基台内に固定される両もち梁構造を有し、かつ支持板の圧電素子の外周縁に対向する箇所に沿って接着剤のはみ出し部を収容するように形成された溝部を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 小型化が図れる音圧空間微分検出センサを提供する。
【解決手段】 それぞれ扁平な直方体形状であって厚さ方向を互いに揃えて長手方向を互いに直交させる向きで配置された２個の振動板１と、振動板１を短手方向の両側から間に隙間を空けて挟む挟み部２０を各振動板１についてそれぞれ有するパッケージ２と、各振動板１に２個ずつ設けられそれぞれ振動板１の長手方向の中央部であって短手方向の一端ずつとパッケージ２の挟み部２０との間に架設された支持体３と、各振動板１の長手方向の両端部の測定点Ａ〜Ｄについてそれぞれ厚さ方向の変位を検出する変位検出手段（図示せず）とを備える。１枚の振動板１につき１方向の音圧空間微分を検出可能であるから、１方向の音圧空間微分を検出するために複数枚ずつの振動板を用いる場合に比べ、小型化が図れる。 （もっと読む）