【課題】同一のアレイを構成する複数個のセル間での不均質性による検知結果の相違を補償する。
【解決手段】その部位毎に光子放出量が異なる経路からの光子検知を、行１０２内にある基準セル及び行１０４内にあるサブレンジセル１０６からなりそれら基準セル及びその近傍のサブレンジセル１０６との対を１個又は複数個含むフォトセンサアレイ１００を備える集積回路（ＩＣ）６８により、経路を構成する複数個のセグメントにて個別に行う。基準セルは適用対象光子エネルギレンジのほぼ全体（λｍｉｎ〜λｍａｘ）を通し入射光子を受け取り、サブレンジセル１０６は当該適用対象光子エネルギレンジのサブレンジのうち対応するサブレンジ（λｐ）内の入射光子をその上方の透過構造を介して受け取る。周辺回路１１０にて前者に基づき後者を調整して出力する。 （もっと読む）