【課題】物体或は、スクリーンや、カメラなどの評価装置をデフォーカスさせて
光学系の結像性能のデフォーカス特性を評価する場合、デフォーカス量が瞳距離に対して大きい場合は、光学系の真のデフォーカス特性とは異なった特性が得られる。
【解決手段】デフォーカスによる射出瞳距離変化に応じて測定値を補正し、被検光学系がアナモフィックな特性を有している場合は、互いに異なる直交方向で測定値を補正する。 （もっと読む）

【課題】使用時の投影光学系の光学特性を計測することができる計測用光学部材、マスク、露光装置、露光方法及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】計測用光学部材２３は、計測用パターン４６が形成されるパターン形成領域４４及び該パターン形成領域４４とは異なる位置に配置される非パターン形成領域４５ａ，４５ｂ，４５ｃを有する複数の計測用パターンユニット４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃを備えている。非パターン形成領域４５ａ，４５ｂ，４５ｃは、計測用パターンユニット４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ毎に互いに異なる形成条件で形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、生産コストが低い吸着治具を提供することである。
【解決手段】本発明に係る吸着治具は、吸引源に連通されてテストオブジェクトを吸着するために用いられる。互いに対向する第一面及び第二面にそれぞれ積載凹部及び吸着凹部が設けられ、前記積載凹部と前記吸着凹部との間に接続孔が設けられ、前記積載凹部、前記吸着凹部及び前記接続孔が同軸上に設けられる吸着部と、前記吸着部の側面に設けられ、且つ前記接続孔に連通する通気孔が設けられる少なくとも１つの接続部と、前記積載凹部に載置されて前記接続孔を密封する透光板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて高い精度にて像面測定が可能な像面測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】画像センサ１１１のセンサ面１１１ａに対して光源１２１から光を照射し、上記センサ面で反射した反射光を、上記光学ユニット外に配置した測定用撮像ユニット１３０にてデフォーカス動作を行い撮像する。上記測定用撮像ユニットで撮像された画像の合焦状態を画像演算処理部１４０にて評価することにより、上記光学ユニットの光学系１１２の像面を測定する。 （もっと読む）

【課題】 回折型多焦点眼内レンズの解像力、または屈折力の検査を空気中にて好適に行う。
【解決手段】 検査光を発する光源を有し、設計中心波長を可視光の波長とし複数の焦点を持つ回折型眼内レンズの解像力または屈折力を空気中で検査する眼内レンズ検査装置であって、該光源の中心波長は、所定の屈折率を持つ回折型眼内レンズが被検レンズであることを想定して設定されたものであり、前記所定の屈折率に基づいて求められる前記眼内レンズの空気中における入射波長と回折効率の関係において，空気中での１次回折光に対する０次回折光の回折効率の割合が約１／３〜３となる赤外域の波長領域から選択されたものである。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサの焦点距離を簡易に且つ高精度に測定する。
【解決手段】ラインセンサの焦点距離測定装置を、表面に相互に平行する二本の直線状の境界線１１を挟んで黒色部分１２と白色部分１３とが交互に配色された平板からなるターゲット１と、ターゲット１との距離Ｌが既知であって、走査線方向がターゲット１の表面及び境界線１１に直交するように設置されて境界線１１を撮像するラインセンサ２と、ラインセンサ２によって撮像した画像を処理して境界線１１間の幅を求め、得られた境界線１１間の幅に基づいてラインセンサ２の焦点距離ｆを算出する画像処理部３とから構成した。 （もっと読む）

【課題】測定装置に起因する誤差を低減して高精度の被検光学系の光学特性を測定する測定方法を提供する。
【解決手段】測定方法は、複数の反射球面鏡アレイ３０を光学系の物体面に配置し、形成される複数の干渉縞をそれぞれ解析することによって前記複数の反射球面の曲率中心位置を複数の物点の位置として求める工程と、被検光が前記光学系を通るように前記反射球面鏡アレイ３０を前記光学系の像面に配置し、形成される複数の干渉縞をそれぞれ解析することによって前記複数の反射球面の曲率中心位置を前記複数の物点に対応する複数の像点の位置として求める工程と、前記複数の物点の位置と前記複数の像点の位置とに基づいて前記測定装置に起因する誤差を求める工程と、光学系の光学性能を示す情報を得るための測定を実施して測定値を得る工程と、前記測定値を前記誤差に基づいて修正する工程とを含む。 （もっと読む）

本発明は、光学系を特性評価するための機器（１）であって、照明光ビーム（ＦＥ）を放射するための少なくとも１つの一次光源（３）と、特性評価されるべき光学系（Ｌ）へ向けて前記照明ビーム（ＦＥ）を方向付けるための光学成分と、光学系（Ｌ）からのビームを受けるようになっている波面解析器（４）と、波面解析器（４）からの測定信号を処理して、光学系（Ｌ）の特性情報を提供するようになっているユニットとを含む機器に関する。機器は、光学系（Ｌ）の焦点面内にほぼ設けられる散乱部材（２２）を更に含み、それによって、前記光学系（Ｌ）を通じて流れるとともに、波面解析器へと更に向けられる二次ビームを発生する二次光源を形成する。
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【課題】光学素子保持機構および光学素子測定装置において、小形の被検体であっても保持姿勢の調整を容易かつ効率的に行うことができるようにする。
【解決手段】波面収差測定装置が、被検レンズ５に対する平行光Ｌを透過する中心開口部２０ａと、中心開口部２０ａの周囲に設けられ、被検レンズ５のフランジ部を保持して光軸方向に位置決めする被検レンズ保持部２０Ａとを有する保持機構２であって、被検レンズ保持部２０Ａの径方向外側に同一平面に整列して設けられた姿勢検知板保持部２０Ｂと、被検レンズ保持部２０Ａの径方向外側の該被検体保持部の周囲に設けられ、被検レンズ保持部２０Ａに対して平行光Ｌの入射方向側に貫通する外側開口部２０ｂと、光反射性を有する干渉縞測定可能な検知面２１ａを有し、検知面２１ａが、姿勢検知板保持部２０Ｂ上に、外側開口部２０ｂを覆うように配置された姿勢検知板２１とを備えるものを有する。 （もっと読む）

【課題】適切な調整値を求めることができるようにする。
【解決手段】ピント位置を確認するためのピント位置確認チャートにおいて、明暗差を有する基準パターン部（１１）と、基準パターン部（１１）の近傍に配置された目盛（１２）とを同一面（１０）上に備えている。 （もっと読む）

多光子硬化型光反応性組成物をその上に有する基材と、複数の波長を含む光ビームを上記基材上の上記組成物の少なくとも１つの領域の上に放射する光源と、上記基材に関する位置信号を得るために上記組成物から反射される光の一部を検出する検出器であって、上記位置信号が上記反射光の波長に少なくとも基づく検出器と、を備えるシステム。 （もっと読む）

【課題】復元処理を前提としたレンズの評価方法および装置において、収差付加タイプの復元処理を前提としたレンズに対しても、通常の結像光学系と同様に汎用的な手法を用いて、光学系のみの性能評価を可能にする。
【解決手段】光学像を電子画像に変換した後、鮮明な画像を得るように復元処理を行う画像形成システムにおいて用いられる、この復元処理を前提とする設計に基づいて実際に製作された、復元処理を前提としたレンズの評価装置である。この評価装置１０は、設計の通りのレンズと組み合わせることにより鮮明な光学像を形成する評価用補正光学系２と、評価用補正光学系２と製作されたレンズ（被検レンズ３）とを組み合わせた合成光学系４の光学特性を測定する測定手段５と、測定の結果に基づき、製作されたレンズを評価する評価手段６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】焦点位置測定装置において、測定雰囲気に温度変化が生じても、正確に被測定光学系の焦点位置測定を行えるようにする。
【解決手段】焦点位置測定装置１００において、被検対物レンズ１を保持するワークステージ２と、被検対物レンズ１に、測定用光を入射させる光源部と、被検対物レンズ１を透過した測定用光を反射させる標本ミラー６と、標本ミラー６を光軸に沿って移動する移動機構７と、被検対物レンズ１に再入射した光を結像するコリメートレンズ５と、コリメートレンズ５による光の結像位置を検出するピンホール９および受光素子１０と、標本ミラー６の移動量を検出するレーザー測長機１１と、ワークステージ２に保持された被検対物レンズ１の周りの雰囲気温度を検出する温度センサ１２とを備え、温度センサ１２の検出温度に応じて、測定原点の再設定を促す警告表示を行うようする。 （もっと読む）

【課題】画像読取装置に用いられるラインセンサの受光面に対して原稿からの反射光を収束させるレンズの検査時間を大幅に短縮化するレンズ検査方法及装置を提供する。
【課題手段】原稿を読み取る画像読取装置に用いられる光電変換素子から成るラインセンサの受光面に対して原稿からの反射光を収束させるレンズの検査方法であって、（ａ）前記レンズの光軸中心を通るラインであって、前記レンズの性能を測定するための測定ラインを決定するステップと、（ｂ）前記測定ラインについて前記ラインセンサのラインに合わせた前記レンズの、解像度、焦点深度、色収差等の各種性能を測定するステップと、の各ステップを有する。 （もっと読む）

【課題】フォーカス、歪曲等を含む光学系の基本性能を簡便に測定、評価できる光学系の光学特性評価方法、プロジェクタの光学特性評価方法を提供する。
【解決手段】本発明の光学系の光学特性評価方法は、評価対象としての光学系（投射レンズ５）の光入射側に所定ピッチを有する第１の格子パターン（ブラックマトリクス２）を配置するとともに、光学系の光射出側に所定ピッチを有する第２の格子パターン（格子線４）を備えた被投射面（スクリーン３）を配置し、第１の格子パターンの像を光学系を通して被投射面上に投射し、第１の格子パターンの像と第２の格子パターンとの干渉により被投射面上に生じるモアレ縞の発生状態を観察することによって、光学系の光学特性を評価する。 （もっと読む）

【課題】フランジ焦点距離の基準値からのずれ量を高精度かつ定量的に測定できるフランジ焦点距離測定装置を提供する。
【解決手段】被検レンズ２０およびこの被検レンズ２０を保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準距離Ｌからのずれ量Δを測定するフランジ焦点距離測定装置１を、光源５およびレチクルチャート８を有する点光源と、この点光源から出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズ９と、このコリメータレンズ９から出射した平行光束を集光する集光レンズ１２と、この集光レンズ１２の焦点位置近傍に後側焦点が位置するように配置された被検レンズ２０と、集光レンズ１２により集光され、被検レンズ２０で平行光束に変換された光線を反射する反射鏡１１と、反射鏡１１で反射された光線を、被検レンズ２０および集光レンズ１２を透過させて、再び平行光束に変換して検出し、ずれ量を算出するマイクロレンズアレイ１３、撮像素子１４、および、解析装置１５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】フランジ焦点距離の基準値からのずれ量を高精度かつ定量的に測定できるフランジ焦点距離測定装置を提供する。
【解決手段】被検レンズ２０およびこの被検レンズ２０を保持するカメラレンズマウントからなるカメラレンズのフランジ焦点距離の基準距離Ｌからのずれ量Δを測定するフランジ焦点距離測定装置１を、点光源装置１０から出射した光線を平行光束に変換する第１のコリメータレンズ９と、この第１のコリメータレンズ９から出射した平行光束を集光する被検レンズ２０と、この被検レンズ２０の後側焦点近傍に焦点が位置するように配置された第２のコリメータレンズ１２と、この第２のコリメータレンズ１２により平行光束に変換された光線を検出し、ずれ量を算出するマイクロレンズアレイ１３、撮像素子１４、および、解析装置１５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】焦点位置測定をより容易にするとともに、精度の向上を実現するカメラ用交換レンズの焦点位置測定装置および焦点位置測定方法を提供する。
【解決手段】カメラ用交換レンズの焦点位置測定装置１を、スリットが形成されたスリット板１０と、光源７から出射した光線をスリット板１０に照射し、色収差を有し、スリットから出射した光線を平行光束に変換するコリメータレンズ１２と、このコリメータレンズ１２で変換された平行光束を被検レンズ３に入射させて集光させ、この被検レンズ３の焦点位置近傍に配置され、光軸に沿って焦点位置の前後を移動して被検レンズ３により集光された光線を反射するミラー４とから構成する。そして、このミラー４で反射された光線を被検レンズ３に入射させて再び平行光束に変換し、コリメータレンズ１２で集光させてスリットの像を形成し、ミラー４の移動に対応するスリットの像の色変化から被検レンズ３の焦点位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】
保持具の異常を自動的に検出することができるレンズ測定装置を提供すること。
【解決手段】
トレー７に保持されている測定対象となるレンズ１が置き換えられて繰り返し測定が行われる場合に、解析制御部３等によるレンズ１の光学特性に異常があるか否かが判断される。ここでトレー７の同一位置において、測定された光学特性に所定頻度以上の異常が発生した場合には、トレー７に異常が発生している旨をモニタ４に表示させる。これにより、トレー７を繰り返し用いてレンズ１の測定を行った場合に、簡単かつ自動的にトレー７のゆがみ等の機械的な異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】一つのレンズにおける複数の結像位置における光学特性の分布状態を把握することができるとともに、このような分布状態を示す情報を簡単に作成することができるレンズ測定装置を提供する。
【解決手段】カメラ２６および解析制御部３を用いて測定対象となるレンズ１における、チャートの光透過領域に対応した結像位置の光学特性を示す出力値であるＭＴＦピーク値を測定し、測定されたＭＴＦピーク値をレンズの測定点と関連付けて、当該測定点に隣接する測定点における出力値と対比可能にモニタ４に表示することができる。よって、一つのレンズにおける複数の測定点における光学特性の分布状態を把握することができるとともに、このような分布状態を示す情報を簡単に作成することができる。 （もっと読む）