【課題】感度が良好で、良好なパターン形状の微細パターンを形成可能で、未露光部の残膜の少ないネガ型レジスト組成物、該ネガ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法、を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）少なくとも１種のカチオン重合性基を持つ化合物、（Ｃ）光カチオン重合開始剤、とを含有するレジスト組成物であって、該レジスト組成物中に異なる複数のカチオン重合性基が存在することを特徴とする、ネガ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】感度が良好で、良好なパターン形状の微細パターンを形成可能なネガ型レジスト組成物、該ネガ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法、を提供する。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）カチオン重合性基を持つ化合物、（Ｃ）光カチオン重合開始剤、を含有し、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂が下記一般式（ＳＦ）で表されるスルホンアミド構造を有する繰り返し単位、を含む樹脂であることを特徴とする、ネガ型レジスト組成物およびパターン形成方法。式（ＳＦ）中、＊は結合手を表し、Ｒ^SFは少なくとも１つのフッ素原子を有する有機基を表す。
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【課題】オキシラン基又はアンハイドライド基をカーボンナノチューブの表面に化学的方法で導入し、このように表面修飾されたカーボンナノチューブの光硬化によってパターン薄膜を形成し、或いは熱硬化によってカーボンナノチューブの高分子複合体を製造する方法を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブの表面に陽イオン重合に参加することが可能なオキシラン基又はアンハイドライド基を導入し、前記カーボンナノチューブを光酸発生剤又は光塩基発生剤と共に有機溶媒に分散させ、基材上にコーティングした後、フォトマスクを介してＵＶに露光させ、露光部でカーボンナノチューブの陽イオン重合を誘発した後、非露光部を現像液で除去することにより、カーボンナノチューブのネガティブパターンを形成する。また、カーボンナノチューブを熱硬化剤と共に有機溶媒に分散させ、基材上にコーティングした後、熱硬化させてカーボンナノチューブ高分子複合体を製造する。 （もっと読む）

【課題】透明性、耐溶剤性が高く、かつ解像度が良好な新たな感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、キノンジアジド化合物（Ｂ）、オニウムカチオンと、式（１）または式（２）で表されるアニオンとからなるカチオン重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｈ）を含有する感放射線性樹脂組成物。
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【課題】ポジ型感光性組成物に対して一般的に求められている高耐熱性、高耐溶剤性、高透明性、下地との密着性等の特性を満足し、かつ、高温での耐スパッタ性をも併せ持つポジ型感光性組成物のを提供すること。
【解決手段】上記課題は、オキセタニル基を有するラジカル重合性モノマー（ａ１）を１〜９７重量％、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー（ａ２）を３〜９９重量％含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合させて得られる共重合体であるアルカリ可溶性重合体（Ａ）および１，２−キノンジアジド化合物（Ｂ）を含有するポジ型感光性組成物、この組成物を用いて製造される透明膜、絶縁膜、そのような透明膜又は絶縁膜を含む表示素子によって達成される。 （もっと読む）

【課題】樹脂層を形成した際に、耐熱性を有し、写真法によりパターン形成精度が良好で、しかも、アルカリによる現像が可能な感光性樹脂組成物およびそれを用いたソルダーレジストを提供する。
【解決手段】（ａ）少なくとも２つのフェノール性水酸基を有する化合物と、（ｂ）少なくとも１つのグリシジルエーテル基と、少なくとも１つのアクリロイル基またはメタクリロイル基とを有する化合物と、（ｃ）ジカルボン酸もしくは無水カルボン酸化合物と、を反応させて得られる光重合性不飽和化合物（Ａ）、および多官能ジヒドロキシベンゾオキサジン化合物（Ｂ）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を含んでなる感光性ソルダーレジスト。 （もっと読む）

【課題】アモルファス状態すなわちガラス状態を保持することができ、それ自体で薄膜化することのできる低分子有機化合物であって多分岐構造を有する新規化合物を提供し、また、高エネルギー線に対する感度の非常に優れた感光性組成物の提供を目的とする。
【解決手段】下記一般式（１）で表される新規な多分岐化合物を提供する。但し、式（１）中、Ｘは中心成分をなす３つのヒドロキシフェニル基を有する多価フェノール残基、Ｚは−Ｃ（＝Ｏ）−で表されるカルボニル基或いは−ＣＨ₂−で表されるメチレン基を示す。
【化１】
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