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Fターム[2H025FA07]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 画像形成法 (10,567) | 露光 (1,529) | 密着露光 (4)

Fターム[2H025FA07]に分類される特許

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【課題】リソグラフィー特性に優れたポジ型レジスト組成物、および該ポジ型レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分(A)は、芳香族基を有する構成単位(a0)、その環骨格中に−SO−を含む環式基を含む(メタ)アクリル酸エステル構成単位(a5)及び酸解離性溶解抑制基を含む構成単位(a1)を有する高分子化合物(A1)を含有する。 (もっと読む)


【課題】フォトリソグラフィーにより、アスペクト比に優れ、高微細、低蛍光性のマイクロチップ部品に適合した成形物の作成を可能にする感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】特定のエポキシ樹脂(A)、光カチオン重合開始剤(B)及び溶剤(C)を含有するマイクロチップ用感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィーにより、アスペクト比に優れ、高微細、低蛍光性のマイクロチップ部品に適した成形物(硬化物)が得られる。 (もっと読む)


【課題】
製版工程における水現像性と画像再現性に優れた感光性樹脂組成物およびそれから得られる感光性樹脂凸版材を提供すること。
【解決の手段】
(1) 少なくとも可溶性合成高分子化合物、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤を基本成分とする感光性樹脂凸版組成物であって、該可溶性高分子化合物が、(A) 主鎖に対してメチル基が分岐した炭素数が6〜9の脂肪族ジアミン、(B)ピペラジン環を有するジアミン及び(C)ジイソシアネート化合物との反応で得られる付加重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物。(2)前記可溶性高分子化合物が(A)成分を全ジアミン量[(A)+(B)]に対して20%〜50重量%含有することを特徴とする(1)に記載の感光性樹脂組成物。(3)(1)又は(2)に記載の感光性樹脂凸版組成物から得られる感光性樹脂凸版材。 (もっと読む)


【課題】製版工程における水現像性と画像再現性に優れた感光性樹脂組成物およびそれから得られる感光性樹脂凸版材を提供すること。
【解決手段】(1)少なくとも可溶性合成高分子化合物、光重合性不飽和化合物、光重合開始剤を基本成分とする感光性樹脂凸版組成物であって、該可溶性高分子化合物が、ジアミンとジイソシアネート化合物との付加重合体であり、且つ該付加重合体中にゲル化物含有率が0.5重量%以下であることを特徴とする感光性樹脂凸版組成物。(2)可溶性合成高分子化合物が有機酸存在下にジアミンとジイソシアネート化合物との付加重合によって得られる可溶性合成高分子化合物であることを特徴とする(1)に記載の感光性樹脂凸版組成物。(3)(1)又は(2)に記載の感光性樹脂凸版組成物から得られる感光性樹脂凸版材。 (もっと読む)


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