【課題】バイアスフリーで高効率であり、かつ歩留まりの良い安価な光変調デバイスを提供する。
【解決手段】
光弾性効果を有する基板１上の一面に形成された少なくとも２本の光導波路２を有し、該基板の少なくとも一箇所が固定され、前記基板の少なくとも一箇所が固定されておらず、前記基板の固定されていない箇所に応力を付与することにより、前記基板を前記光導波路が形成されている方向、もしくはその反対方向に変形させ、前記少なくとも２本の光導波路の光学的な長さを所望の長さに調整する手段２１を備える。 （もっと読む）

【課題】ヒンジ等で支持されないミラー部材を、電極との間に作用する静電引力により支点部材を支点として制御された方向に傾斜させて保持するタイプの光偏向装置の製造を容易にする。
【解決手段】支点部材１０６と電極１０３が形成された第１の基板１００と、ミラー面を有する板状部材２０３とその移動範囲規制用の規制部材２０４が形成された、透明パッケージを兼ねる透明な第２の基板２００とを接合した構造である。両基板とその接合部分で板状部材２０３の運動空間は気密封止される。接合前の第１の基板は一般的なＬＳＩプロセスによって、接合前の第２の基板は一般的なＭＥＭＳプロセスによって容易に製作可能である。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム構造の圧電薄膜を備えた圧電薄膜デバイスおよび圧電薄膜デバイスの製造方法において、簡単な構成により、残留応力などにより撓んだ圧電薄膜の表面に平坦化された表面を備えた安価で高精度のものとする。
【解決手段】圧電薄膜デバイス１は、基板２と、基板２によって一面側（図では下面側）を支持されたダイヤフラム構造の圧電薄膜４と、圧電薄膜４に電圧を印加して当該圧電薄膜４の面形状を変形させるための薄膜電極３，５と、を備えている。この圧電薄膜デバイス１は、さらに、圧電薄膜４の前記一面側とは反対側（上面側）にはダイヤフラム構造部分を囲む堰６ａを備え、堰６ａの内部には圧電薄膜４と共に変形可能であってダイヤフラム構造と略平行である平坦化された表面を有する平坦化層７が圧電薄膜４の上に積層されている。圧電薄膜４の表面が、残留応力などにより撓んだ場合においても、平坦化層７が平坦化された表面を形成する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ）デバイスにおいて、外部からＭＥＭＳデバイスに振動が加わった際にＭＥＭＳの可動部が有する共振周波数の振動を減衰する構造を備えたＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスは、可動部を有する基板と、該基板と収容する筐体１と、可動部の共振周波数に対応した振動を機械的動作により吸収する可動吸収部を有する振動吸収体６とから構成される。このように、ＭＥＭＳデバイスに加わった振動の中から可動部の共振周波数に対応した振動を吸収する振動吸収体を設けることで、ＭＥＭＳデバイスの可動部の共振振動を吸収することができる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム構造の圧電薄膜を備えた圧電薄膜デバイスおよび圧電薄膜デバイスの製造方法において、簡単な構成により、残留応力などにより撓んだ圧電薄膜の表面に平坦化された表面を備えたものとする。
【解決手段】圧電薄膜デバイス１は、基板２と、基板２によって支持されたダイヤフラム構造の圧電薄膜４と、圧電薄膜４に電圧を印加して当該圧電薄膜４の面形状を変形させるための薄膜電極３，５と、を備えている。この圧電薄膜デバイス１は、さらに、圧電薄膜４には当該圧電薄膜４と共に変形可能な平坦化用の多層膜７が積層されており、多層膜７を構成する各層の膜は圧電薄膜４からより遠い膜ほどその表面が平坦化されている。圧電薄膜４のダイヤフラム構造を形成する際に、残留応力などによって撓む不可避の表面形状の不確定な変形が発生したとしても、多層膜７が存在するので、複数の圧電薄膜デバイス１の動作特性の均一化が図られる。 （もっと読む）

【課題】光利用率の低下を抑え、小型化を図ること。
【解決手段】複数の発光素子を有する第１の光源２ａと、複数の発光素子を有し、光軸が第１の光源２ａの光軸と交差するように配置された第２の光源２ｂと、第１の光源２ａの光軸と第２の光源２ｂの光軸とが交差する位置に回転中心が配置されるとともに、光透過領域と光反射領域とが設けられた回転部材３と、第１の光源２ａから射出された光を回転部材３に導く第１の導光部４ａと、第２の光源２ｂから射出された光を回転部材３に導く第２の導光部４ｂと、回転部材３の回転に同期して、第１の光源２ａの発光素子および第２の光源２ｂの発光素子をそれぞれ間欠的に点灯させる制御装置５とを備え、第１の光源２ａの光が回転部材３の光透過領域を透過し、第２の光源２ｂの光が回転部材３の光反射領域により反射されて、共通の光路に射出される照明装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】入射光束を揺動する振動ミラー部により反射して反射光束を走査する光走査装置に集光レンズを組み込んで、小型化、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】反射面が形成された振動ミラー部２、振動ミラー部２の揺動軸をなす支持部３、支持部３を保持する枠部５を有する光走査部１と、光走査部１を収納する筐体１４とを備え、入射光束を振動ミラー部２により走査して反射光束を出射する光走査装置２０であり、振動ミラー部２は、揺動軸の軸方向の幅が揺動軸に直交する方向の幅よりも狭い形状を有し、筐体１４は、入射光束及び前記反射光束を透過する透過部１２を備え、透過部１２は、入射光束を振動ミラー部２の形状に応じた形状に収束させる第１の光学素子を有する。 （もっと読む）

【課題】反射膜どうしのオプティカルコンタクトを回避しつつ、反射膜どうしを十分に近接させて所望の分光特性を得る。
【解決手段】間隔をあけて対向する一対の光学基板２，３と、該光学基板２，３の対向面にそれぞれ配置され、互いに対向する２つの反射膜５と、該反射膜５が配置された側にそれぞれ配置され、当該光学基板２，３の間隔を検出する間隔センサを構成する互いに対向する２つのセンサ電極６と、前記光学基板２，３を相対的に移動させ、当該光学基板２，３間の間隔を変化させるアクチュエータ４とを有し、前記２つの反射膜５の対向する表面間の距離が前記２つのセンサ電極６の対向する表面の間の距離より大きい可変分光素子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電振動板と支軸とを有する光学反射素子において、小さな駆動電圧を圧電振動板に与えることで光学反射部に所定の揺動運動をさせる構成を実現する。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、枠体１２と、この枠体１２に溝１３で分離されるとともにこの溝１３内に設けられた支軸１４により枠体１２に支持された枠体１５と、この枠体１５に溝１６で分離されるとともにこの溝１６内に設けられた支軸１７により枠体１５に支持された光学反射部１８と、枠体１２にその一端を接続されるとともにその他端を支軸１４に接続された圧電振動板２０と、枠体１５にその一端を接続されるとともにその他端を支軸１７に接続された圧電振動板２２とを備え、支軸１７は支軸１４にその軸方向が直交するよう設けるとともに、圧電振動板２０の他端と支軸１４との接続点は圧電振動板２０の他端における略中央に配置する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】
長時間にわたり導通状態を維持することができ、長時間にわたり優れた信頼性を発揮することのできるアクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する連結部２３、２４と、圧電体層５１１および圧電体層５１１を狭持するように設けられた１対の電極層５１２、５１３とを備え、電極層５１２が連結部２３に接合された圧電素子５１と、支持部２２に対して固定的に設置された配線基板６１とを有し、１対の電極層５１２、５１３のそれぞれと配線基板６１上の配線とが、伸縮性を有する導電性バンプ７１１、７２１を介して導通している。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの回転振動に起因する配線の振動騒音を低減できる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ｌは、所定の回転振動軸Ａを中心に回転振動する振動ミラー３と、振動ミラー３を保持するＭＥＭＳパッケージ１０と、振動ミラー３に電力を供給するためにＭＥＭＳパッケージ１０に電極７を介して接続される配線６とを備えている。そして、配線６の引出開始位置である電極７は、振動ミラー３の回転振動軸Ａを含み、かつ静止状態における振動ミラー３と直交する面と交わるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】可動部中に絶縁分離構造を設けた半導体構造を容易に製造可能にする。
【解決手段】光走査ミラー（半導体構造）１は、第１シリコン層１００ａ、酸化膜１２０、第２シリコン層１００ｂから成るＳＯＩ基板１００を加工することにより形成されている。第１シリコン層１００ａには、固定フレーム４に第１ヒンジ５を介して支持された可動部５０が形成されている。可動部５０は、トレンチ（絶縁分離構造）１０１ａが形成されることにより複数の部位に分かれている。トレンチ１０１ａの下方に、酸化膜１２０及び第２シリコン層１００ｂから成る支持体９が形成されている。支持体９にはトレンチ１０１ａにより分割された可動フレーム３の複数の部位が接合されており、可動部５０は支持体９と一体に揺動可能である。これにより、簡易なエッチングによる製造工程により支持体９を形成し、可動部５０の機械的強度を確保可能である。 （もっと読む）

【課題】新規な発想に基づいた回折格子、光変調器及びこれを用いた表示装置を提供する。
【解決手段】同一面上において第１の方向に併設された複数の梁体を備え、前記第１の方向にみた前記梁体の間隔が可変とされ、前記第１の方向にみた前記梁体の配置が第１の周期を有する第１の状態と、前記第１の方向にみた前記梁体の配置が前記第１の周期とは異なる第２の周期を有する第２の状態と、を選択的に形成可能であることを特徴とする回折格子が提供される。また、光源と、上記の複数の回折格子を前記第１の方向に併設され前記光源から放射された光が入射される回折格子と、前記回折格子の前記第１及び第２の状態のいずれかにおいて生じた回折光を選択的に取り出す光学手段と、前記光学手段により取り出された前記回折光をスクリーンに投影する投影手段と、を備えたことを特徴とする表示装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４と、可動板２１を回動駆動させるための駆動手段とを有し、連結部２３は、可動板２１から延出する軸部材２３１と、軸部材２３１と支持部２２とを連結し、可動板２１側へ折り返すように形成された折り返し部２３２とを有している。 （もっと読む）

【課題】偏心の発生を防止しつつ光学素子の簡素化および低コスト化、低消費電力化を図る上で有利な光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子１０は、容器１２と、第１、第２の液体１４、１６と、第１の電極１８と、第２の電極２０と、電圧印加手段２２とを含んで構成されている。第２の電極２０は、容器１２の厚さ方向と直交する平面内において容器１２の厚さ方向に延在する単一の仮想軸３８を中心として放射方向に延在する複数の電極部４０で構成され、隣接する電極部４０の間には電極部４０が形成されていない第１の非電極部４２が形成されている。各電極部４０は、仮想軸３８を中心とする円の半径方向外方に至るにつれて電極部４０の幅が次第に大きくなるように形成され、各第１の非電極部４２は、半径方向外方に至るにつれて第１の非電極部４２の幅が次第に小さくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持する弾性変形可能な１対の軸部材２３、２４と、各軸部材２３、２４を変形させながら可動板２２を回動させる駆動手段と、可動板２２および／または軸部材２３、２４が所定量以上変位したときに可動板２２および／または軸部材２３、２４に接触して、可動板２２および軸部材２３、２４の変位を所定範囲内に規制する規制部材６１、６２、６３とを有し、規制部材６１、６２、６３は、高分子材料を主材料として構成されている。 （もっと読む）

【課題】より低い駆動電圧で作動するマイクロアクチュエータを提供する。
【解決手段】マイクロアクチュエータは、基板を含む固定部と、湾曲部と直線状部とを有する片持ち構造の可動部とを備える。湾曲部は駆動力が加えられていない状態において湾曲する。直線状部は片持ち構造の固定端と湾曲部との間に配置され、駆動力が加えられていない状態において基板の主平面と略平行に延びる。駆動電圧が印加されたときに湾曲部の少なくとも一部と直線状部の少なくとも一部が固定部側にプルインされる。
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【課題】薄膜で構成された湾曲梁部にねじれ現象が生じ難い薄膜構造体を提供する。
【解決手段】薄膜で構成された梁部であって、力を受けていない状態で自身の保有する応力によって湾曲する梁部を備えた薄膜構造体において、前記梁部は、その長さ方向に延びた一本以上のスリットで複数の梁構成部に分断されている。
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【課題】光機能素子から放出される熱と、基板と基板の素子搭載面を覆ったウィンドウリッドとによって規定された内部キャビティに蓄積される熱及びウィンドウリッドそのものの熱の両方を半導体パッケージの外側に放散できる構造を提供する。
【解決手段】基板２が、光機能素子１からの熱を基板の背面から放散させるための第１の放熱経路１１と、内部キャビティにおいて発生した熱及びウィンドウリッドそのものからの熱を基板の背面及び（又は）側面から放散させるための第２の放熱経路２１を組み合わせて有し、かつそれらの放熱経路が基板内を貫通し、充填したサーマルビアを有しているように構成する。 （もっと読む）

【課題】「発生力（荷重）−たわみ特性」のバラツキを改善することを可能にする。
【解決手段】基板１１と、この基板上に設けられた複数の電極１２と、基板上に固定配置されたスペーサ１３と、このスペーサ上に配置され、基板に対向する側の面から基板に対向する側の面と反対側の面に貫通する開口を中央に有する支持部材１６と、この支持部材の基板に対向する側の面に設けられた第１絶縁膜１５と、支持部材の基板に対向する側の面と反対側の面に設けられた第２絶縁膜１８と、複数の電極に対向するように所定の間隔を持って配置されるとともに開口を覆うように形成され、第１絶縁膜を介して支持部材に支持される電極膜１４と、を備え、電極膜は、複数の電極と反対側の面に設けられた反射部１７を有し、支持部材は、電極膜、第１絶縁膜およびスペーサを介して基板上に配置される。 （もっと読む）