ファセットミラー（６；１０）は、マイクロリソグラフィにおける使用に向けて役立つ。ファセットミラー（６；１０）は、ＥＵＶ照明光（３）の部分ビームを導くための照明チャンネルを予め定義する複数のファセット（７；１１）を有する。ファセット（７；１１）の少なくとも一部は、アクチュエータ（３１；３５）を有する調節デバイス（３０；３４）を用いて、ファセット反射平面（ｘｙ；ｘ’ｙ’；ｘ’’ｙ’’）に垂直な移動成分（３２；ｄｚ’；ｄｚ’’）を伴って変位可能である。これは、ファセットミラーの使用中に達成すべき望ましい照明事前定義に準拠するように作られた所定の要件が従来技術と比較して低い製造費用で達成されるファセットミラーをもたらす。 （もっと読む）

【課題】光学的機能、特に光拡散機能、光線の法線方向への変角機能及びその制御機能が格段に高い光学シート及びこれを用いたバックライトユニットの提供を図るものである。
【解決手段】本発明は、表面が光反射性を有するシート状の基材と、この基材の上面から下面に貫設され、上面側に形成される出光部と下面側に形成される入光部とを有する複数の光誘導孔とを備える光学シートである。上記光誘導孔の出光部の平均面積（Ｓ_１）の入光部の平均面積（Ｓ_２）に対する面積比（Ｓ_１／Ｓ_２）は１以上１００００以下、出光部の充填率は７０％以上１００％以下であるとよい。上記基材の平均厚さは、５μｍ以上５ｍｍ以下、上記出光部の平均面積（Ｓ_１）は２５μｍ^２以上２５ｍｍ^２以下であることが好ましい。 （もっと読む）