【課題】光源から射出された所定の波長帯域の光を減光することができる減光装置、光源装置、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】減光装置３６は、内部に密閉された空間を有する筐体４１を備え、筐体４１は、本体部４２と、本体部４２における光軸ＡＸ方向の両面に形成された開口部４３，４４を閉塞する一対のフィルタ部材４５，４６とにより構成される。両フィルタ部材４５，４６は、光源装置から射出される露光光のうちＥＵＶ光の波長成分のみを選択的に透過させる。また、気体排出側の各連通流路４９，５０の途中位置に本体部４２内の気体の圧力を検出するための真空ゲージを配置すると共に、気体導入側の各連通流路５７，５８の途中位置に流量調整バルブを配置する。そして、真空ゲージの検出結果に基づき流量調整バルブの開度を調整することで本体部４２内に供給するキセノン量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線撮像装置では、光学フィルタを有するためフィルタ表面での光線反射により迷光が発生し、その迷光を赤外線検出素子が受光することにより画像が劣化する。この迷光の発生源とならない光学フィルタに代わる赤外線を減衰するフィルタを得る。
【解決手段】 赤外線の光路上に赤外線吸収特性を持つガスを封入する空間を構成し、ガスの封入量を調整することによって、フィルタターレットにより光学部品を切り替える光学フィルタを使用せずとも赤外線を減衰することができ、フィルタ表面での反射による迷光を発生させることなく、赤外線検出素子に集光する赤外線の光量を低下させることができる。 （もっと読む）

光学用途向けのフィルム、そのようなフィルムを含む物品、そのようなフィルムの作製方法およびそのようなフィルムを用いるシステムが、開示される。

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