物体の解像度が向上された走査画像は、集束プローブビーム（２２）によって物体（１２）を走査するための照射アーム（１４）および物体からの光を受光するための検出アーム（１６）を具備する走査型レーザ顕微鏡（１０）によって生成される。検出アームは、複数のピクセルに関するピクセルデータを生成するために、物体（１２）からの光を集光し、検出する検出器（３４）を具備する。さらに、検出アームは、走査されたピクセル位置に関する波面データを生成するために、物体からの光の位相の変動を検知するための波面センサ（３６）を具備する。各ピクセル位置において集光された光の波面形状から、そのピクセル位置の小規模の特徴部から集光されていない散乱光に対応する高い周波数スペクトルが決定される。関心領域の解像度が向上された画像は、走査されたピクセル位置の高い周波数スペクトルに基づいて生成される。

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【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）