【課題】気流制御を通して基板を均一に加熱することが可能な加熱処理装置およびこれを備える塗布現像装置を提供する。
【解決手段】基板を収容可能で、前記基板Ｓが通過する第１の搬入口６２Ｉおよび第１の搬出口６２Ｏを有する筐体と、前記第１の搬入口６２Ｉから前記第１の搬出口６２Ｏへ向かう方向に前記基板Ｓを搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構により前記筐体内を搬送される前記基板Ｓを加熱するヒータ７２と、前記筐体に設けられる排気口であって前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏから前記排気口に至る気流を形成可能な当該排気口と、前記第１の搬入口６２Ｉおよび前記第１の搬出口６２Ｏの一方または双方に臨んで設けられ、吸気により前記気流を調整する当該吸気口とを備える加熱処理装置が開示される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、平版印刷版材料に対して像様露光後に平版印刷版を得るのに、現像処理が必要な平版印刷版材料と、不要な平版印刷版材料とを、同一の露光、現像装置で容易に同時に並行して取り扱い処理して平版印刷版を得ることができる平版印刷版の製版装置、平版印刷版の製版方法、および平版印刷版材料の搬送振り分け装置を提供することにある。
【解決手段】平版印刷版材料に対して、露光する露光手段と、露光後の該平版印刷版材料の種類を現像が必要なまたは不要な種類に判別する判別手段と、該判別手段の判別結果に対応してそれぞれ該平版印刷版材料の搬送先を現像が必要な平版印刷版材料用の現像処理手段または現像が不要な平版印刷版材料用のストッカに搬送振り分ける搬送振り分け手段、および該現像が必要な平版印刷版材料用の現像処理手段を有することを特徴とする平版印刷版の製版装置。 （もっと読む）

【課題】版品質の均等化と向上、作業員の労力負荷の低減化、生産効率の向上、人的コストと製版コストとの低減化を図る。
【解決手段】液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で未硬化樹脂を除去する樹脂回収装置３と、液状版感光性樹脂凸版２を吊り下げた状態で洗浄する洗浄装置４と、液状版感光性樹脂凸版２を略水平状態で後露光する後露光装置５とを有する液状版感光性樹脂凸版の製版装置１において、樹脂回収装置３と洗浄装置４とが間隔を開けて対向配置されており間隔部分に後露光装置５が配置されているか、又は、樹脂回収装置３と洗浄装置４と後露光装置５とが並べて配置されており、樹脂回収装置３と洗浄装置４、洗浄装置４と後露光装置５とは、それぞれ液状版感光性樹脂凸版の搬送機構を介して連結されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】平流し方式の現像処理において現像時間の短縮化や線幅均一性の向上を効率的に実現すること。
【解決手段】この現像ユニット（ＤＥＶ）９４は、平流しの搬送路１２０に沿って上流側から搬入部１２２、加熱部１２４、現像部１２６、第１および第２リンス部１２８，１３０、乾燥部１３２および搬出部１３４を一列に配置する。搬送路１２０上の基板Ｇを加熱部１２４で設定温度まで加熱してから、直ぐ下流側の現像部１２６で基板Ｇ上に現像液を供給するので、現像中に基板Ｇからの放熱で現像液が加熱され、現像液が活性化してその液膜の中で対流が起こり、レジスト膜の可溶部の溶解が促進され、現像速度が向上する。 （もっと読む）