【課題】水平方向へのレイアウトの拡大を抑制できる基板の搬送システムを提供する。
【解決手段】搬送システム１は、ロボット７Ａにて搬入及び搬出される基板Ｓが置かれる搬入用スペース１２Ａ及び搬出用スペース１３Ａが上下方向に配置された受け渡しステーション９Ａと、ロボット７Ｂにて搬入及び搬出される基板Ｓが置かれる搬入用スペース１２Ｂ及び搬出用スペース１３Ｂが上下方向に配置された受け渡しステーション９Ｂと、露光前の基板Ｓを各搬入用スペースへ移送する移送ロボット１０Ａと、搬出用スペース１３Ｂの基板Ｓを下流側セクションＳＣ２へ移送する移送ロボット１０Ｂとを備え、移送ロボット１０Ａは搬出用スペース１３Ａの基板Ｓを第２受け渡しステーション９Ｂに配置された中継スペース１４へ移送し、移送ロボット１０Ｂは中継スペース１４の基板Ｓを下流側セクションＳＣ２に移送する。 （もっと読む）

【課題】スループットの向上を図りつつ、基板に一層目のパターンを一括して露光することが可能な露光装置及び露光方法を提供する。
【解決手段】近接露光装置１１は、複数のパターンＰ１，Ｐ２を有するマスクＭを保持するマスクステージ２１と、被露光材としての複数の基板Ｗ１，Ｗ２を保持するワークチャック２２を備える基板ステージ２３と、マスクＭの複数のパターンＰ１，Ｐ２を介して複数の基板Ｗ１、Ｗ２に露光光を照射する照明光学系と、を備える。そして、ワークチャック２２に保持された複数の基板Ｗ１、Ｗ２とマスクステージ２１に保持されたマスクＭの各パターンＰ１，Ｐ２とを対向配置した状態で、照明光学系から露光光を照射することで、複数の基板Ｗ１，Ｗ２に一層目となるマスクＭの各パターンＰ１，Ｐ２を一括露光する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送路を一方向に搬送される基板を一時的に退避させる基板バッファユニットにおいて、バッファ空間の空気洗浄を効率的に行い、且つ、コストを低減することのできる基板バッファユニットを提供する。
【解決手段】基板搬送路の途中に設けられ、基板を載置する載置部６を有すると共に、前記基板搬送路から外れた所定位置に移動可能に設けられた箱状の棚部２と、前記箱状の棚部の上面または側面に設けられ、浄化された清浄空気を供給する清浄空気供給手段４と、前記清浄空気供給手段と前記棚部の一側面とを接続する通風路５とを備え、前記清浄空気供給手段から供給された清浄空気は、前記箱状の棚部の一側面に形成された空気導入口７から前記載置部に供給され、前記箱状の棚部における前記空気導入口とは反対側の側面に形成された空気導出口８から排気される。 （もっと読む）

【課題】手間が掛かり又は困難な調整の必要なく、基板の受け渡しを行う。露光むらを抑制し、かつ、チャックを軽量化して、チャックの移動を高速化し及び位置決め精度を向上させる。
【解決手段】基板１より大きな枠４１内に複数のワイヤ４２を張って基板１の搬送台４０を構成し、搬送台４０の複数のワイヤ４２に基板１を搭載する。搬送台４０の枠４１より小さなチャック１０に搬送台４０の複数のワイヤ４２が収納される複数の溝１１を設け、チャック１０を複数の点で支持し、チャック１０の周囲に搬送台４０の枠４１を支持する支持具３９を設ける。基板１を搭載した搬送台４０をチャック１０へ搬送し、搬送台４０の各ワイヤ４２をチャック１０の各溝１１に挿入して、基板１をチャック１０に搭載する。搬送台４０の枠４１を支持具３９で支持し、チャック１０及び支持具３９を移動して、基板１の移動を行う。 （もっと読む）

【課題】露光装置に対する基板の搬送を効率的に行う。
【解決手段】露光装置１０への基板の搬入、及び露光装置１０からの基板の搬出を行う際に、基板が載置されたトレイを露光空間と基板交換位置との間で、移動機構５０により移動する。これにより、基板ホルダＰＨと投影光学系ＰＬとの間の露光空間が上下方向に狭い場合であっても、露光装置１０に対する基板の受渡を広い空間で行うことが可能となり、基板ホルダに対する基板の搬送を効率的に行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】所定間隔を置いて精密加工が施される複数枚の板状ワークに対して同時に温度調整を容易に施すことができ、且つ始動開始の際に、板状ワークの温度調整を早期に開始できる板状ワークの温度調整装置を提供する。
【解決手段】複数枚の板状ワークを所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する積層手段としての棚体１０と、前記板状ワークの各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記複数枚の板状ワークが積層されている積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給する空気流供給部２０と、前記空気流を所定温度に調整する加熱ヒータ３０と冷却手段としての熱交換器３２とを具備する温度調整装置であって、前記温度調整装置の始動開始の際に、棚体１０を構成する枠体の温度を測定する枠体温度センサ４６で測定された枠体温度が予め設定した温度範囲内となるように加熱ヒータ３０を制御する制御部２４が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 その設置面積をできるだけ小さくすることが可能な刷版供給装置を提供すること。
【解決手段】 刷版を収納した複数のカセット９を互いに重畳した状態で収納するマルチカセット部３と、画像記録装置に供給する刷版を各カセット９から取り出すためのローダ部４と、マルチカセット部３の上方に配置され、その一部がマルチカセット部３と上下方向に重なり合った状態で、水平方向を向く軸を中心に傾斜可能な給版部２とを備える。 （もっと読む）

【課題】印刷版原版の感光層の表面の酸素を確実に遮断した状態で感光層を露光することが出来る印刷版原版露光装置を提供する。
【解決手段】印刷版原版を保持する透明基板と、この透明基板に保持された印刷版原版の支持体の側の表面全体を覆って透明基板の全周縁部と密着する前記被覆部材とで形成される閉空間の真空排気に同期させて、スクイズ手段を被覆部材の一方の側から他方の側に相対的に移動しながら、印刷版原版の感光層と透明基板との間の空気を、一方の側から他方の側に向かって徐々に押し出して、透明基板の表面に印刷版原版の感光層の全面を略完全に密着させる。 （もっと読む）