【課題】 リブ型光導波路デバイス及びその製造方法に関し、光導波路における光閉じ込め効果を減少させることなく、単結晶コアの側面ラフネスを低減する。
【解決手段】 ＳｉＯ_２からなる下部クラッド層と、前記下部クラッド上に設けられたＳｉ_１−ｘＧｅ_ｘ（但し、０≦ｘ≦０．３）からなる単結晶コアと、前記単結晶コアの側面に拡散防止膜を介して設けられた屈折率緩和層と、前記単結晶コアの上面と前記拡散防止膜及び屈折率緩和層の露出面を覆うＳｉＯ_２からなる下部クラッド層とを有する光導波路を備え、前記屈折率緩和層の屈折率を、前記単結晶コアの屈折率より小さく且つ前記上部クラッド層の屈折率より大きくする。 （もっと読む）

【課題】コアの表面にクラッドフィルムや保護フィルム等のカバーフィルムが一体に接合された高分子光導波路を高能率に製造可能な高分子光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】キャビティ４４が形成された鋳型４０の表面及びキャビティ４４の内面に、離型フィルム（カバーフィルム）３０を密着する。この鋳型４０の表面及びキャビティ４４の内面に密着された離型フィルム３０の表面に、濡れ性を向上するための改質処理を施す。離型フィルム３０にて表面が覆われたキャビティ４４内にコア形成用の高分子材料Ｐを充填する。離型フィルム３０にて覆われた鋳型４０の表面にクラッドフィルム１０を密着する。キャビティ４４内に充填されたコア形成用の高分子材料Ｐを硬化してコア２０を形成する。鋳型４０と離型フィルム３０の界面を剥離して、離型フィルム３０とコア２０とクラッドフィルムとが一体に形成された高分子光導波路を取り出す。 （もっと読む）

【課題】リブ型シリコン細線導波路を利用した可変光減衰器において、無駄な電力を必要とせずに低消費電力で高速動作ができるようにする。
【解決手段】電極１４１および電極１５１に挟まれた領域のコア１０３の上面に、この領域のコア１０３を酸化することで形成した酸化シリコン層１０７を備える。例えば、よく知られた熱酸化法、もしくはプラズマ酸化法により、酸化シリコン層１０７が形成できる。酸化シリコン層１０７は、層厚５ｎｍ程度であればよい。酸化シリコン層１０７を備えることで、電圧印加において、不要な電流の流れが防止でき、低消費電力化を図ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】接着層を用いることなく、基材と被着体との間に光の伝搬経路を形成するとともに、基材と被着体とを強固に接合し、光導波路として機能する接合体を容易に得ることができる光導波路の製造方法、および、薄型化が可能でかつ信頼性の高い光導波路を提供すること。
【解決手段】第１の基板２上のうち、一部に線状に設定したコア部領域（第１の領域）３１０に、プラズマ重合法により第１の接合膜３１’を成膜するとともに、コア部領域３１０を囲むように設定したクラッド部領域（第２の領域）３２０に、屈折率が第１の接合膜３１’よりも小さくなるように設定された成膜条件で第２の接合膜３２’を、第１の接合膜３１’を覆うように成膜する工程と、第２の接合膜３２’にエネルギーを付与する工程と、第２の接合膜３２’を介して第１の基板２と第２の基板４とを接合し、光導波路を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に光導波路を形成する際に、その光導波路のコア側面の粗面化を抑制することができる光導波路装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表面が算術平均粗さ（Ｒａ）１〜２ｎｍの範囲内の平滑状になっている基板Ａの表面に、アンダークラッド層２の形成を経て、コア３形成用の感光性樹脂層３Ａを形成した後、この感光性樹脂層３Ａに対して直角に照射線Ｌを照射し所定パターンに露光し、その露光部分をコア３に形成する。このコア３形成工程において、コア３形成用の感光性樹脂層３Ａおよびアンダークラッド層２を透過した照射線Ｌは、基板Ａの平滑状表面により、その基板Ａに対して略直角に反射する。これにより、基板Ａの表面での乱反射を大幅に減少させ、コア３側面の粗面化を効果的に抑制する。 （もっと読む）

【課題】パラレル光配線におけるチャンネル間のクロストークを低減する光モジュールを提供する。
【解決手段】光導波路は、単一のクラッド内に３つのコアが形成されており、さらに各コア内には光源及び受光部が対向する位置でそれぞれ埋め込まれている。光源と受光部とは、光軸が一致している。受光部は、テーパ反射側面と、遮光部と、受光体とで構成される。遮光部は、受光体が実際に光を受ける有効受光部分を決定する。テーパ反射側面は、コア内を伝搬してくる光の内、光導波路のＮＡで決まる角度θ_0Cを上限とする入射角範囲の光のみを有効受光部分に誘導する。このテーパ反射側面は、光源の方向に広がり角度を有して、有効受光部分の周囲に設置される。テーパ反射側面の開口径は、コアの幅（又は径）以下に設計される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、導波路の狭メサ化及び側壁円滑化が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】スラブ導波路層を有する第１の基板を用意する工程と、該第１の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第１の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第２の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第２の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第１の金属とともに第２の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】３次元フォトニック結晶を用いた発光素子において、効率及び安定性を向上させる。
【解決手段】発光素子１０は、３次元フォトニック結晶２０を有する。該３次元フォトニック結晶は、活性媒質を含む共振器を形成する第１の欠陥部７０と、該共振器で発生した光を外部に取り出すための導波路を形成する第２の欠陥部８０と、Ｐ型半導体により形成されたＰクラッド部４０と、第１のＮ型半導体により形成されたＮクラッド部５０とを有する。第２の欠陥部は、Ｐクラッド部及びＮクラッド部のうち該Ｎクラッド部にのみ設けられている。そして、第２の欠陥部の少なくとも一部は、第２のＮ型半導体により形成され、外部に熱を放射する放熱手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】光導波路本体（コア部分やクラッド層）に用いて、優れた難燃性を有するフィルム状光導波路を形成することのできる感光性樹脂組成物、及び該フィルム状光導波路を提供する。
【解決手段】フィルム状光導波路は、コア部分及びクラッド層を有する光導波路であって、前記コア部分及び前記クラッド層のうち一以上が、（Ｂ）特定の式で表されるホスファゼン化合物、及び（Ｃ）光ラジカル重合開始剤を含む光導波路用感光性樹脂組成物の硬化物からなる。 （もっと読む）

【課題】導波路コア間に溝を形成しなくても導波路コア間のクロストークを抑制することができる光導波路、成形型及び光伝送装置を提供する。
【解決手段】この光導波路１は、クラッド基板２と、クラッド基板２の下面２ｂに設けられた複数の導波路コア３と、導波路コア３間に設けられた複数の構造体４とを備え、導波路コア３は、入射した光信号を傾斜面により長手方向に反射する入射側反射面３０と、長手方向に所定の間隔を有して設けられた複数の段差部にそれぞれ形成され、傾斜面により光信号を外部に反射する複数の出射側反射面３１Ａ〜３１Ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】屈曲耐久性、透明性、及び伝送特性に優れたフィルム状光導波路を提供する。
【解決手段】フィルム状光導波路２４は、下部クラッド層１２と、下部クラッド層１２の上面に形成された、特定の幅を有するコア部分２０と、下部クラッド層１２及びコア部分２０の上に積層して形成された上部クラッド層２２とからなる。下部クラッド層１２及び上部クラッド層２２のうち少なくとも１つは、（Ａ）ウレタン（メタ）アクリレートオリゴマー、（Ｂ）反応性希釈モノマー、（Ｃ）数平均粒径が１〜１００ｎｍであるエラストマー粒子、及び（Ｄ）光重合開始剤を含む光硬化性樹脂組成物の硬化物からなる。 （もっと読む）

【課題】ダイシングソーによってコアを形成して光導波路を製造するときに、下部クラッド層の完全切断やコアの形成不良を抑制し、厚みが薄い光導波路を高得率で製造する方法及び光導波路を提供する。
【解決手段】コア層１６と、第１のクラッド層１４と、該第１のクラッド層を構成する材料よりも低い曲げ弾性率を有する高屈曲材層１２とを含む積層体１０を用意する工程と、ダイシングソー２０を用い、前記積層体の前記高屈曲材層側とは反対側の面から、前記ダイシングソーのブレード先端部が少なくとも前記第１のクラッド層の一部まで入り込むように設定して切削することにより前記積層体に切削溝１８を形成するとともにコア部１６ａを形成する工程と、前記積層体の前記切削溝を形成した側にクラッド形成用硬化性材料２２，２４を供給して硬化させることにより前記コア部をクラッドで包囲する工程と、を含むことを特徴とする光導波路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光回路における導波路コアパターンの自由度が維持されるとともに、光回路に挿入されたフィルタ類が本来の性能を発揮しうるような高分子光回路を提供できる高分子光回路の製造方法の提供。
【解決手段】導波路コア２と導波路コア２の両端部を連通する連通流路１２Ａ、１２Ｂとに対応する凹部を一方の面に有し、導波路コア２に交差するように形成され、光学フィルタ３が挿入される光学フィルタ挿入孔１３を有する鋳型１１を、鋳型形成用エラストマを型に注入して硬化させることにより形成し、鋳型１１の前記一方の面に、クラッド基材１５を密着させ、コア形成用硬化樹脂を鋳型１１の凹部１２に注入し、光学フィルタ挿入孔１３に光学フィルタ３を挿入し、コア形成用硬化樹脂を硬化させて導波路コア２を形成し、鋳型１１を除去し、クラッド４の残りの部分を形成する高分子光回路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】位置決め時には、剥離が容易で、優れた位置決め精度を得ることができ、位置決め後には、フィルムを確実に固定することができる、接続信頼性の高い光導波路フィルムおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】アンダークラッド層５およびオーバークラッド層７と、これらに被覆されるコア層６とを備えるフィルム２を用意し、アンダークラッド層５の表面に粘着剤層３を形成し、粘着剤層３の表面に、互いに間隔を隔てて整列して配置される複数の突起部分４を形成する。 （もっと読む）

【課題】切断や打ち抜きによることなく、１片のフィルム状光導波路を簡単に得ることができるフィルム状光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上を複数のフィルム状光導波路Ｗに対応する領域に区画し、その領域ごとに、アンダークラッド層２と、その上のコア３とを形成してフィルム状光導波路Ｗ化し、ついで、各フィルム状光導波路Ｗを上記基板１からそれぞれ剥離する。 （もっと読む）

【課題】電気的な負担を掛けずに光信号の高周波化を実現する。
【解決手段】比較的波長幅の広い光パルスを光源より発して波長フィルタリングデバイスの波長選択性を有しない入射側光導波路に入射し（Ｓ１０）、マイクロリング共振器で周期的な波長間隔を有する変調光を生成する（Ｓ１２）。その光パルスを波長分散デバイスに入力して、波長に応じて速さが異なる処理を与えることで、波長ごとに独立な時間パルスに分離する（Ｓ１６）。波長分散デバイスからは、入射光よりも高周波の時間軸方向に強度が変調された光パルス列（時間強度変調信号）が出力される。波長フィルタリングデバイスと波長分散デバイスは、パッシブ部品であるので、電気的な負担を掛けずに、高周波数の光パルス列を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＳＩチップ上のような限られたスペースでも、波長多重光伝送を実現可能とする受光素子および光配線ＬＳＩを提供する。
【解決手段】導電性薄膜３の表面に設けられ入射光を表面プラズモンに変換するための同心円型結合周期構造５ａ、５ｂと、同心円型結合周期構造５ａ、５ｂの中心に配置され導電性薄膜３を貫通する開口４ａ、４ｂと、開口４ａ、４ｂにおける同心円型結合周期構造５ａ、５ｂが設けられた面とは反対側の面の開口端に配置された受光部との組合せが同一基板上に複数組設けられ、複数の同心円型結合周期構造５ａ、５ｂは、それぞれ周期が異なり、且つ互いに重ね合わされ、複数の開口４ａ、４ｂは複数の同心円型結合周期構造５ａ、５ｂが重ね合わされた領域内に配置され、複数の受光部は電気的に分離されている。 （もっと読む）

【課題】高い屈折率、優れた伝送特性を有し、硬化収縮率が低く、パターニング性に優れる等の光導波路に要求される諸特性を維持しながら、さらに、優れた屈曲耐久性をも有するフィルム状光導波路を提供する。
【解決手段】本発明のフィルム状光導波路２４は、コア部２０及びクラッド部１２，２２を有し、コア部２０及びクラッド部１２，２２のいずれか又は両方が、（Ａ）ビスフェノール構造を有する（メタ）アクリレート、及び／又はフェノキシ構造を有する（メタ）アクリレート、（Ｂ）ウレタン（メタ）アクリレートオリゴマー、及び（Ｃ）ラジカル性光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物の硬化物からなる。 （もっと読む）

【課題】光伝送損失の低下を抑制することができ、生産性の高い光電子回路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】光電子回路基板１は、面型光素子としての発光素子アレイ１２０及び受光素子アレイ１２１と、光導波路１３を介して配置され、光導波路１３の光路変換面１３３Ａ，１３３Ｂが露出するように開口（貫通穴）１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂを有する第１及び第２の基板１０，１１からなるプリント基板１００と、アレイ１２０，１２１の実装面が取り付けられた取付面１２９ａが第１の基板１０に電気的に接続された中継基板１２９と、アレイ１２０，１２１の光出力面１２０ｂ、光入力面１２１ｂと光路変換面１３３Ａ，１３３Ｂとの間の空隙を埋めるように設けられ、光信号の波長を透過する特性を有し、エネルギー線が照射されることにより硬化する光学樹脂１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】接着剤が光導波路の周縁からはみ出さず、また、接着剤が光導波路とレンズとの位置合わせを妨げないタッチパネル用レンズ付き光導波路およびその製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ体２の載置面２１に接着剤３を介して光導波路１が接着され、そのアンダークラッド層１１の一端縁部の端面１１ａがレンズ体２のレンズ２２に当接するタッチパネル用レンズ付き光導波路であって、レンズ体２の載置面２１には、接着剤収容溝Ｂ₁ ，Ｂ₂ が形成され、光導波路１には、上記接着剤収容溝Ｂ₁ ，Ｂ₂ に連通する貫通孔Ａが厚み方向に形成され、接着剤３による接着が接着剤収容溝Ｂ₁ ，Ｂ₂ および貫通孔Ａを利用してなされている。 （もっと読む）