【課題】 広範な波長領域において一様に低い反射率を示し、膜強度と脆性を両立できる耐久性に優れた反射防止膜を低コストで、大量かつ大面積製造の適性のある方法で提供する。
【解決手段】 支持体上にオルガノシランの加水分解部分縮合物を含有する組成物を塗設して形成された低屈折率層を有する反射防止膜において、該オルガノシランの加水分解開始から塗布完了までが５０℃以下であり、かつ加水分解開始から塗布後の乾燥完了までが３０分以内であることを特徴とする反射防止膜。 （もっと読む）