【課題】石英管が非円管であっても、処理槽内の定位置で均一な洗浄処理を行う。
【解決手段】石英管３の汚れを洗浄する洗浄液５（又は９）を入れた洗浄槽７（又は１１）と、前記洗浄槽７（又は１１）で洗浄された石英管３をリンスするリンス液１３を入れたリンス槽１５と、を備えた石英管洗浄装置１において、前記洗浄槽７（又は１１）内で前記石英管３を回転可能に載置する少なくとも２対のローラ１９と、この２対のローラ１９に載置された石英管３を正転と逆転方向に交互に繰り返して回転せしめる正逆回転駆動装置２１を設けてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの清浄度を著しく向上させ、フォトマスクの異物や汚れに起因した、パターンの黒欠陥、白欠陥、及び規格外のパターンの発生などを回避するために行っている、清浄なフォトマスクへの交換頻度を減少させることのできるカラーフィルタ用フォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】アルカリ洗浄液を用いてウエット洗浄を行う洗浄液洗浄部Ａ、光洗浄を行う光洗浄部Ｂ、表裏反転する反転部Ｃ、上記洗浄液洗浄部、光洗浄部、反転部の各々の間でフォトマスクを搬送する搬送部Ｄを具備する。紫外線の主となる波長が１６５ｎｍ〜１７５ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】洗浄力を確保しつつ製造の簡素化が図られる洗浄液、その製造方法及び製造装置並びに洗浄方法を提供する。
【解決手段】隔壁を有さない電解槽２１に被電解液として炭酸水素ナトリウムを溶質とした水溶液を供給して電気分解する。そしてその電解液にクエン酸を添加することにより洗浄水を生成するようにした。隔壁を有する電解槽を使用して洗浄水を生成するようにした場合と異なり、被電解液を電気分解して得られた陽極水と陰極水とを電気分解終了後に混合する必要がない。また、単にクエン酸を電解液に投入するだけで所定の洗浄力が得られる。このため、洗浄水の製造の簡素化が図られる。洗浄水の洗浄力も確保される。 （もっと読む）