【課題】Ｗｅｔ処理装置（洗浄装置あるいは現像装置等液体を用いるプロセス処理機）内の基板搬送にも適用可能で、配管系の不要なコンパクトな基板吸着装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、基板を気密に吸着するためのラッパ状の吸着口を備えるゴムパッド８と、前記ゴムパッドの基部を膜保持ハウジング３０を介して気密に被覆するダイアフラム膜７と、前記ダイアフラム膜７を変形させるための圧力制御ブロック３と、を有することを特徴とする基板吸着装置である。 （もっと読む）

【課題】少量の圧縮空気にてワークの吸着および解放を行うことができるようにしたエアシリンダ方式によるワーク吸着保持装置を提供する。
【解決手段】吸着パット１が接続される空気室１０Ａと大気に開放の空気室１０Ｂを有する第１エアシリンダ１０と、それぞれ電磁切換弁４０に接続される空気室２０Ａ，２０Ｂを有する第２エアシリンダ２０の各ピストン１１，２１をピストンロッド１２を介して相互に連結し、ワークＷの吸着時には、電磁切換弁４０により空気室２０Ａをコンプレッサ３０に接続し、空気室２０Ｂを大気に開放してピストン１１を矢印Ａ方向に移動させて第１空気室１０Ａ内を負圧とし、ワークＷの解放時には、電磁切換弁４０により空気室２０Ｂをコンプレッサ３０に接続し、空気室２０Ａを大気に開放して、ピストン１１を矢印Ｂ方向に移動させて第１空気室１０Ａ内を大気圧に戻す。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で小型化できる吸着パッドを提供する。
【解決手段】ロボットアームの吸着パッド11の突き上げピン31でガラス基板を支持する。ロボットアームを下降させて吸着パッド11の蛇腹部13を伸ばす。吸着パッド11の蛇腹部13内が負圧になり、吸着パッド11のパッド部22がガラス基板に吸着する。ガラス基板を移送してからロボットアームを下降させる。吸着パッド11の蛇腹部13が潰れて蛇腹部13内の気圧が上がる。突き上げピン31の先端部32が蛇腹部13の開口部15から突出してガラス基板を支持する。吸着パッド11のパッド部22による吸着が解除される。 （もっと読む）

【課題】真空装置等の大掛かりな設備を必要とせず、また、大きな設置場所を確保することなく、ガラス基板の保持とその解除を確実に行なえるようにすること。
【解決手段】 ガラス基板Ｇを保持する場合、各搬送アーム１２により吸盤１４がガラス基板Ｇに静かに押し付けられ、吸着面とガラス基板Ｇとの間の空気が抜き取られ、吸着面がガラス基板Ｇに吸着する。この場合、アクチュエータ２４は、揺動アーム１６の揺動を許容する非動作状態となっているので、吸盤１４は揺動アーム１６の拘束を何ら受けることなく自由に変形でき、吸着面がガラス基板Ｇに吸着する。吸盤１４によるガラス基板Ｇの保持の解除は、アクチュエータ２４により駆動アーム２６を介して３つの揺動アーム１６を揺動させ、各吸盤１４の凸部を持ち上げ、吸着面とガラス基板Ｇとの間に空気を入り込ませることでなされる。 （もっと読む）

【目的】 物体面に付着し、物体面から素早く離脱する凝着・離脱装置及び方法を提供すること。
【構成】 物体面２１に追従可能で物体面２１に凝着する凝着面１１を有する凝着部１と、物体面２１に凝着している凝着面１１の凝着力を可変にする凝着可変手段３と、を備え、凝着可変手段３により、凝着面１１の凝着力の合力を弱め、凝着部１を物体から離脱させる、凝着・離脱装置、又は、その離脱方法。
（もっと読む）

【課題】真空吸着具が付着する面に異物が付着していても堅固に付着でき、持続して強い吸着力を維持できる真空吸着具。
【解決手段】本体（２０）の開放されている下方部側の周縁に上部側が密着する軟質の材質で形成されているパッキン（３０）の周縁に沿って、パッキン（３０）の上部側の面に、所定の深さの緩衝溝（３１）が形成されていると共に、本体（２０）の開放されている下方部側の周縁から所定の距離であって、パッキン（３０）の上部側が本体（２０）の開放されている側の周縁の下部側に密着した際に、緩衝溝（３１）がパッキン（３０）に形成されている位置よりも中央部側に近い位置になる距離離隔した部位に、下方部側に向けて固定環（２５）が形成されている真空吸着具（１０）。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットに装着されたチャックユニットであって、ワーク吸着時落下防止のためのセルフロックがかかり、ワークをシャフトに装着後にロックが解除されるチャックユニットを提供する。落下防止機構を有する。
【解決手段】吸着盤２１を用いて吸着把持した後ワーク１を所定の加工機に装着する産業用ロボットにおいて、ワーク内に落下防止機構３０を挿入すると同時に吸着盤でワークを吸着把持し、コア内側に設けた溝に落下防止爪３４を係合させて、ワークのコアがシャフトに挿入されたとき爪の係合が解除される落下防止機構をチャックユニット３に組み込む構成とする。 （もっと読む）

【課題】 制御盤の警報窓に窓枠を作業性よく、信頼性よく着脱できる窓枠着脱工具の提供。
【解決手段】 制御盤１の警報窓２に嵌め込み式に取付けられる窓枠３を吸着する吸盤１１と、吸盤１１を前面に固定した中継部材１２と、中継部材１２を先端に着脱自在に連結した中空の伸縮継ぎ柄１３と、吸盤１１の周縁部を手動で変形させる一本の操作紐１５を備える。操作紐１５は、吸盤１１から中継部材１２と伸縮継ぎ柄１３の中を貫通して、伸縮継ぎ柄１３の後端から外に導出され、この導出部分を手で引っ張るようにする。 （もっと読む）

【課題】 エアの消費量が少なく、高速にチャック及びアンチャックでき、かつチャック力を安定して長時間確保できる負圧チャック装置を提供する。
【解決手段】 負圧チャック装置１は、一端が開放された保持部２と、該保持部内で移動可能に支持された可動体３とからなり、該保持部と可動体とで第１〜第４の４つの空間Ａ₁〜Ａ₄を設け、第１と第２の２つの密閉空間Ａ₁，Ａ₂に加圧気体を供給することで可動体を移動させることにより、第４の密閉空間Ａ₄の内圧を変化させることで、保持部の開放された一端で部品６を吸引力によってチャック、アンチャックできるようにしている。 （もっと読む）