【課題】 被吸着物の吸着、解放の動作応答が高速化され小型、軽量な吸着ノズル装置を提供することである。
【解決手段】
外部に流体供給口及び吸入口を形成するケース体、該ケース体の内部に該流体供給口及び該吸入口を導通する流体経路の流体の流動を弁体及び弁座の接触・解放により断続的に開閉する流体経路切換体、該流体経路切換体が励磁コイルの内部に固定体及び可動体を直線的に配置した電磁ソレノイド型であり該励磁コイルへの通電により稼動する該可動体の該固定体と反対側の先端に該弁体を形成してなり、並びに、ケース体内部に流体経路及び流体経路切換体を一体形成した。 （もっと読む）

【課題】ウエハの擦れによる塵の発生が抑えられたウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハ搬送アーム１１０は、アーム本体１３０と、アーム本体１３０の先端部に設けられた二つの固定爪１４０と、アーム本体１３０に対して±Ｘ方向に移動可能な一つの可動爪１６０と、ウエハ１０の外周縁を光学的に検出するための二つのセンサー１５０とを備えている。二つのセンサー１５０は搬送基準軸を挟んでウエハ１０のノッチ１２の幅より広い間隔を置いて配置されている。固定爪１４０はウエハ１０を把持して心出しするためのウエハ心出し把持面１４２とを有し、可動爪１６０はウエハ１０を把持して心出しするためのウエハ心出し把持面１６２とを有している。ウエハ心出し把持面１４２とウエハ心出し把持面１６２の幅はいずれもウエハ１０のノッチ１２の幅よりも広い。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で電磁開閉弁の電力消費を効果的に低減することができる脚体関節アシスト装置を提供する。
【解決手段】アシスト装置１２は、気室１６，１７に通じる気体流通路２２の電磁開閉弁２３を閉弁した状態で気体の圧縮または膨張によって、脚体３の膝関節（特定関節）８での屈伸運動に伴い補助駆動力を発生して、膝関節８に作用させる。電磁開閉弁２３の開弁状態では、補助駆動力は発生しない。電磁開閉弁２３は、自己保持機能を有する電磁開閉弁で構成され、電磁開閉弁２３を閉弁状態とする所定期間で、気室１６，１７間の圧力差が弁体の閉弁方向に作用するように気体流通路２２に介装される。 （もっと読む）