【課題】多孔質板を用いた吸着テーブルにおいて、基板に働く吸着力の大きさや分布を調整することができるようにした構造の吸着テーブルを提供する。
【解決手段】多孔質板で形成され上面１１ａに基板Ｇが載置されるステージ１１と、ベース１２とからなり、内部に中空空間１４が形成されるとともに、ステージの裏面１１ｂが中空空間１４に面するように構成されたテーブル本体１３と、中空空間１４を減圧する真空排気機構１７とを備えた吸着テーブル１０であって、ステージの裏面１１ｂは、通気性のないシール部材２１で覆われるとともにシール部材２１の一部にリーク穴２２が形成され、中空空間１４を減圧状態にするとリーク穴２２から多孔質板を介してリークが生じるようにする。 （もっと読む）

【課題】複数の板状物（８）の種類、サイズ、枚数の変更にフレキシブルに対応可能であり、また、吸引時の詰まり等の吸引トラブルも低減できる、複数の板状物を保持テーブル（１２）上に吸着保持するための保持治具（１０）を提供する。
【解決手段】保持テーブル上に載置される硬質板（２２）と硬質板上に積層される表層部材（２４）とから構成している。硬質板にはその表面から裏面まで貫通する多数の孔（２６）が形成されている。表層部材には板状物の外形に対応した複数個の開口部（２３）が形成されている。表層部材の厚さは板状物の厚さより薄い。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の大きさに応じて効率的な吸着が実行できるチャックテーブルを提供する。
【解決手段】 多孔質材料からなる吸着板(A)と、 この吸着板(A)が対面して配置される平面を有し且つこの平面に被加工物(W)を吸引保持するための負圧を伝達する空気通路を有した基台(C)と、を備える。 吸着板(A)と基台(C)との間には、当該吸着板(A)における吸引面を狭めるためのマスキングシート(B)を備え、 そのマスキングシート(B)は、前記基台(C)における前記空気通路に連通するとともに前記吸着板(A)における吸引面よりも狭い面積である部分吸着孔(B1)を備える。 （もっと読む）

【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことのできて、部品を破損させることのない、部品の加工及び搬送に使用する部品保持具を提供する。
【解決手段】 上面が平坦に形成されたベース部材２と、該ベース部２の上面に少なくとも周縁部５で接着固定された上面に粘着部３が形成された粘着弾性シート部材４とを有し、ベース部材２又は粘着弾性シート部材４には圧縮気体を注入・排出する通気孔６が設けられ、該通気孔６から圧縮気体を注入することにより粘着弾性シート部材４が膨張して上方に隆起することで、粘着弾性シート部材４に取り付けられた部品Ｐと粘着弾性シート部材４との密着部の一部が剥がされるようにする。 （もっと読む）