【課題】主軸の回転を妨げることなく、被加工物を駆動する駆動手段に電力を供給することができる加工装置を提供すること。
【解決手段】主軸３１内部は中空であり、この主軸３１内部には、一端が駆動手段３４のモータ３４１又は計測部３５に接続され、他端が接点３１４Ａと接続されるケーブル３６が配置されている。接点３１４Ａは、主軸３１の小径部３１１Ｂの外周面に、周状に巻かれており、この接点に、電源ケーブル４０の端部が当接している。 （もっと読む）

クランプ本体（１）は、支持体に強固に留め付けるための中央領域（２）と、２本の平行なアーム（３、４）と、該アームを前記中央領域（２）に接続する４本の弾力性のある指状体（12、13、14、15）を備えた軸支回動装置（５）とを有して一体に切り出される。顎部（17）は、ピン（29）、パッド（30）、及びボルト（31）を介して前記アーム（３、４）に留め付けられる。制御部材（26）が静止位置にあるときには、ドリル（25）の端部が前記顎部（17）の突出部の間に狭持される。前記制御部材（26）を斜面（27、28）に沿って厚くなっている端部の方へ動かしてアームの後端部を相互に近付くように動かし、軸支回動装置を変形させて顎部（17）を開かせることによってクランプを開く。 （もっと読む）

投受光部（５２）は、液体が基板（１４）に供給されて縁部（３０）に流れる状態で、レーザ光を縁部（３０）に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ（５４）は、反射波の電気信号を処理して縁部（３０）の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部（３０）が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
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ガラスシートのエッジを処理するときに発生する微粒子および他の汚染物質がガラスシートを汚染しまたは損傷させるのを防止するのに役立つ装置および方法が記載されている。装置は封入手段および処理手段を備えている。封入手段は、ガラスシートの両面を支持する能力を有する。そして、処理手段は、封入手段の第１の領域側に位置する、ガラスシートの両面に隣接するエッジを処理する（例えば、裁断し、罫書き、研削し、または研磨する）能力を有する。封入手段は、処理手段がガラスシートのエッジを処理するときに発生する微粒子および他の汚染物質が、封入手段の第２の領域側に位置する、ガラスシートの両面に到達するのを実質的に防止する能力を有する。
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