【課題】打抜きプレスに比べて短時間で安価な方法により窓部や内周面凹部を成形することができる環状部材の製造方法を提供する。
【解決手段】環状素材１５０を環状素材１５０の軸心Ｘ１回りに回転可能に配置する。径方向外側に突出形成され１つまたは周方向に等間隔に複数の刃部Ｔ２を備える刃具Ｔを、環状素材１５０の軸心Ｘ１に対して偏心した軸Ｘ２回りに回転可能に配置する。環状素材１５０の回転速度Ｖｗを刃具Ｔの回転速度Ｖｔより低く、かつ、環状素材１５０の回転速度Ｖｗと刃具Ｔの回転速度Ｖｔの比を一定に制御することで、刃部Ｔ２により窓部５３または内周面凹部を切削加工する。 （もっと読む）

【課題】 製造効率の点で有利なブレーズ型回折格子の製造方法を提供する。
【解決手段】 ブレーズ型回折格子を製造する方法は、第１の位置で第１切刃および第２切刃を有するバイトを用いて前記被加工物を切削して前記第１切刃および前記第２切刃によってそれぞれ形成された第１面および第２面を有する第１の溝を形成する第１工程と、前記第１工程の後に、前記第１の位置から格子ピッチだけ離れた第２の位置で前記バイトを用いて前記被加工物を切削して第２の溝を形成する第２工程と、前記第２工程の後に、前記第１の位置と前記第２の位置との間の第３の位置で、前記第２切刃を前記第１の溝の第２面と接触させずに前記バイトを用いて前記第１面を切削して前記第１切刃によって前記第１の溝のブレーズ面を形成する第３工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールを往復加工できるとともに、ガイドレールを１つ加工するために消費されるエネルギーが少なく、段取り作業も容易なガイドレール加工装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール加工装置１は、加工テーブル２と第１の刃物１１と第２の刃物１２とヘッド１０と切換機構１３とを備える。加工テーブル２は、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２へ往復移動し、ガイドレールＧが固定される。第１の刃物１１は、第１の方向Ｄ１へ加工テーブル２が移動する間に、ガイドレールＧの刃Ｂの側面Ｓを切削する。第２の刃物１２は、第２の方向Ｄ２へ加工テーブル２が移動する間に、ガイドレールＧの刃Ｂの側面Ｓを切削する。ヘッド１０は、第１の刃物１１および第２の刃物１２を搭載する。切換機構１３は、ヘッド１０を切り換え、第１の刃物１１をまたは第２の刃物１２をガイドレールＧの刃Ｂの側面Ｓに当接させる。 （もっと読む）

【課題】工具又はワークの損傷の防止と、スループットの向上を両立的に実現する。
【解決手段】切削工具１４によりワーク１５の表面を切削する切削装置１０は、その先端が切削工具１４の先端よりも切削工具の切込方向（−Ｚ軸方向）に突出するように設けられた柔軟性を有する導電性部材１６と、導電性部材１６とワーク１５の接触を通電の有無により検出する通電検出手段１７と、切削工具１４によるワーク１５の切削時に生じる振動を検出する振動検出手段１８，１９と、ワーク１５に対する切削工具１４の切込量と該切込量で実際に該ワーク１５を切削したときに生じる振動との関係を示す振動特性を、予め記憶した記憶手段２０と、振動検出手段１８，１９で検出された振動と記憶手段２０に記憶された振動特性とに基づいて、ワーク表面に対する切削工具１４の先端の切込方向の位置を検出する制御手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の形状接線角度が大きくなっても、目標形状に凹部または凸部を切削加工することができる切削加工方法および切削加工装置を提供する。
【解決手段】前逃げ角γが大きく、かつ、すくい角αが負の切削工具８を用い、切削工具８の切り込み量を高速で変化させるとともに、切削工具８をワークの表面往路に沿って移動させながら、ワークに凹部を切削加工する。次に、切削工具８の切り込み量を高速で変化させるとともに、切削工具８をワークの表面復路に沿って移動させながら、ワークに加工した前記凹部を再度切削加工する。これにより、往路加工で発生したバリ３１を復路加工で除去できるので、凹部を正確に加工できる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の表面に高精度な微細形状を加工することができる微細形状切削加工装置および加工方法を提供する。
【解決手段】ＸまたはＹ移動機構１２，１１の駆動を制御する駆動プログラム開始時にタイマーカウント開始指令を出力するＮＣ装置２１と、これら移動機構の相対移動速度情報とワークＷの加工開始位置情報とから、タイマーカウント開始指令が出力されてから切削工具が加工開始位置に到達するまでの到達時間Ｔ１を演算する到達時間演算手段２２と、タイマーカウント開始指令が出力されてからの経過時間Ｔ２が到達時間Ｔ１に一致したかを判定し、一致したときにトリガー信号を出力する経過時間判定手段２３と、トリガー信号を受けて予め設定した切込量で切削工具が進退するように往復動ステージを駆動させる往復動ステージ駆動手段２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 バイトに対し相対的にワークをＸＹ平面上でＸ軸方向へ往復動させて該ワークの表面を加工するバイト加工方法及びバイト加工装置における加工効率の向上を図る。
【解決手段】 ワーク１３の往動時と復動時にそれぞれ対応すべく互いに切削加工方向の向きを逆にした２本のバイト２４、２５を、主軸（Ａ軸）の回転により交互に加工位置へ割出し可能に取り付け、往動時には、図５（イ）に示すように、バイト２４を加工位置へ割出してワーク１３を往動させて往動時の切削加工を行う。次に、復動時には、図５（ロ）に示すように、バイト２５を加工位置へ割出してワーク１３を復動させて復動時にも切削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】切削工具による切削加工点への切削液の供給を効率的にしてその供給量を可及的に低減しつつ、切削点における必要箇所に十分な量の切削液が安定的に供給されるように、切削液供給装置乃至は供給方法を提供する。
【解決手段】切削工具１とともに移動する面板６また下面が開放された切削液充填容器で切削加工面2aを覆い、面板又は切削充填容器と切削加工面との間の微小空間に切削液７を供給して当該切削液で切削加工点を包み、この状態で切削加工を行うこと。 これによって切削液を切削工具と加工点に集中して確実に供給することが可能になり、加工点及びその近傍の外には切削液が供給されないので、切削液の供給量を著しく低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 電極間の絶縁分離を研削によって行う場合に、研削時に発生する静電気等によって素子特性変動を起こすことを抑制できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 デポジション、スパッタもしくは蒸着によって金属膜４を形成しつつ、ウェハ全面に形成される金属膜４を保護膜３の表面に形成することで、保護膜３の一部と共に金属膜４のうちの不要部分を除去する。このとき、不要部分の除去をバイト１０を用いた機械加工によって行うと共に、バイト１０を接地状態とする。これにより、研削時に発生する静電気や保護膜３などが切り離されたときに発生する電荷がバイト１０を伝って吸収され、半導体素子がチャージされてしまうことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 バイト等の切削工具で半導体ウエーハ表面のバンプの先端を削り取って高さを揃えるにあたり、バイトの折損等による異常加工が起こる前に加工を停止して半導体ウエーハの損傷を未然に防止する。
【解決手段】 チャックテーブル１７を支持するステージ１４に、バンプ２の切削加工時の音響状態を検出するＡＥセンサ４０を取り付け、制御手段によって、ＡＥセンサ４０の出力信号が所定の正常加工領域を示す信号であるか否かを判別し、その出力信号が正常加工領域を逸脱した場合に、切削ユニット２０を退避位置まで上昇させてバイト２６を半導体ウエーハＷから離し、異常加工が起こらないようにする。 （もっと読む）

【課題】 バイト等の切削工具で半導体ウエーハ表面のバンプの先端を削り取って高さを揃えるにあたり、切削工具の偏摩耗が抑えられて摩耗状態をほぼ均等にすることができ、切削工具の有効利用および寿命の長期化を図る。
【解決手段】 バイト２６が回転する切削ユニット２０に対して、チャックテーブル１７に回転しない状態で保持した半導体ウエーハＷを送り込んで往復動させ、往路送り（第１の切削工程）、復路送り（第２の切削工程）のいずれの過程においても、バイト２６を半導体ウエーハＷに作用させる。これによって、バイト２６の刃部２８における左右の刃先２８ａ，２８ｂの摩耗の進行を均等化させる。 （もっと読む）

【課題】 容易に且つ高精度な加工を可能とするシール部材の加工方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 射出成形された後のシール部材２０の表面を切削して所定寸法に仕上げるシール部材の加工方法であって、シール部材２０固定用の固定部１１０に予め設けられた溝部１１１に、シール部材２０を挿入し、溝部１１１の底部１１１ａからの浮きが生じないように、シール部材２０の切削部近傍を押え部１２０で押え、切削部に対して負のすくい角を有する刃具１３０をシール部材２０の長手方向と交差する方向の全領域に押し当て、刃具１３０を押え部１２０と共にシール部材２０の長手方向に、シール部材２０に対して相対的に移動して切削部の切削を行う。 （もっと読む）

【課題】導光板等の複雑な溝や形状、さらに微細な溝や形状を容易に得られる表面加工機を提供。
【解決手段】基台２上にＸ軸テーブル４と、門型コラム８を設け、門型コラムにＹ軸テーブル９を設け、Ｙ軸テーブルにＺ軸方向の工具送り装置１０に垂直方向に微少高速変位制御可能な微少高速工具位置決め装置２０を介して工具１５を設け、工具送り装置のＺ軸の位置を固定したまま、Ｘ軸又は／及びＹ軸を移動させ微少高速工具位置決め装置と工具により垂直方向の微少加工を行えるようにする。高速位置決め装置の垂直方向の移動距離は２０μｍ、Ｘ軸及びＹ軸テーブルは、静圧軸受にて保持され、リニアモータ７駆動され、工具送り装置は静圧ねじ１８にて保持され、サーボモータ１７により駆動され垂直方向に移動・位置決め可能にする。 （もっと読む）

【課題】精密な微細凹凸を創成することのできる微細表面形状切削加工装置を提供すること。
【解決手段】被加工物を搭載し、往復運動をする第１のスライド機構と、第１のスライド機構の運動方向と直角方向に間欠位置決め運動をする第２のスライド機構と、第１および第２のスライド機構の運動軸とそれぞれ直角な方向に切削工具の切込み量を高速かつ微細に制御する工具切込み機構と、第１のスライド機構の運動に従ってパルス信号を発生する位置検出器とを備えた微細表面形状切削加工装置であって、第１のスライド機構の正方向の運動時に位置検出器から発生するパルス信号に同期して工具切込み機構により工具切込み量を高速に変化させ、第１のスライド機構の逆方向運動時には切削工具を待避させ、かつ、第１のスライド機構が一往復する毎に第２のスライド機構を一定量送ることによって加工面上に微細表面形状を創成するので、精密な微細凹凸を創成することができる。 （もっと読む）