【課題】基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに成形してその内部下方には半導体ウェーハ１を支持する下部支持ブロック１５を装着し、この下部支持ブロック１５の半導体ウェーハ１に対向する対向面には、半導体ウェーハの周縁部２下方を縦に支持する支持溝１６を複数形成する。また、容器本体１０の内部上方に、下部支持ブロック１５に対向する上部支持ブロック１７を装着してその半導体ウェーハ１に対向する対向面には半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する支持溝１８を複数形成するとともに、各支持溝１８の谷部１９を半導体ウェーハ１の周縁部２上方に半導体ウェーハ１移動用の空隙２２を介して対向させる。 （もっと読む）

【課題】優れた振動防止および保護効果を有するレチクルポッドのキャリアケースを提供すること。
【解決手段】トップカバーおよびボトムカバーがほぼ対応し、収納空間を形成する。ボトムカバーは、ボトムカバーの２つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込められる。収納空間を複数の収納空間に分割し、レチクルポッドを置くために用いる。挟持部と当接部とを有する固定部品をトップカバー内表面の最上面に設置する。トップカバーをボトムカバーにかぶせるときに、トップカバーの各固定部品がすべてキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。固定部品の当接部は、レチクルポッドを押さえる。 （もっと読む）

【課題】ガラス乾板の包装及び開梱の負担を軽減するガラス乾板用包装箱及びその開梱方法並びにガラス乾板包装方法の提供。
【解決手段】ガラス乾板１１の４辺にスペーサ２１〜２４を取り付ける。中間箱１３の底内面１３ａの中央部に予めセットされている緩衝マット２６の上にガラス乾板１１のベース面１１ｂを載置するように、ガラス乾板１１を中間箱１３内に入れる。中間箱１３の周壁部１３ｂとスペーサ２１〜２４との隙間に内箱１２の周壁部１２ａを挿入し、内箱１２をガラス乾板１１及びスペーサ２１〜２４の上に被せる。中間箱１３の周壁部１３ｂと内箱１２の底外面１２ｂとに架け渡すように粘着テープを張り付ける。内箱１２には予め一対のテープ１６が取り付けられ、各端部１６ａは底外面１２ｂに弱シールされている。内箱１２及び中間箱１３の上に外箱１４を被せてから、外箱１４の周壁部と中間箱１３の底外面とに架け渡すように粘着テープを張り付ける。 （もっと読む）