【課題】互いに直交した搬送経路に沿って基板を傾斜姿勢で搬送しながらより少ないスペースで効率良く基板の搬送方向を転換できるようにする。
【解決手段】姿勢変換装置２２は、支持テーブル２２１とこのテーブル２２１を揺動させる揺動機構とを含む。揺動機構は、テーブル上面が特定方向から見て傾斜しかつ当該方向に傾斜姿勢で搬送される基板Ｓを受入れる基板受入れ姿勢と、テーブル上面が特定方向と直交する方向から見て傾斜しかつテーブル上に支持した基板Ｓを当該方向に傾斜姿勢で送り出す基板受渡し姿勢とに亘って支持テーブル２２１を揺動させる。基板受渡し姿勢は、基板受入れ姿勢で受入れた基板Ｓの先頭側の辺Ｓ１を一辺として基板Ｓ上に形成した仮想正方形の対角線のうち当該基板Ｓの先頭下位側の頂部を通る対角線と平行な軸回りに辺Ｓ１が前記直交方向と平行となる位置まで基板Ｓを回動させた姿勢とされる。 （もっと読む）

【課題】装置寸法を長くすることなく、効率的に基板の搬送速度を途中で変更できる搬送技術を提供する。
【解決手段】直列配置された２つの搬送機構の境界を越えて基板を搬送するにあたり、基板がこの境界上を移動して受渡されている受渡期間（時間Ｔ１５〜時間Ｔ１６）を含んだ時間帯（時間Ｔ１１〜時間Ｔ１２）で、２つの搬送機構の搬送速度を整合させつつ減速させる同期制御を行う。この減速過程における時間−速度の関係をＳ字曲線とすることにより、基板に加わる加速度の急激な変化を防止できる。また、受渡期間を減速期間として利用することにより、それ以前に減速を完了させたり、基板の受渡し後に減速を開始させたりする場合と比較して搬送が効率的となる。 （もっと読む）