【課題】 複列基板を、離間して平行に配置した二列の処理槽の一方の処理槽の搬出部から互いに離間して隣り合う他方の処理槽の搬入部へ高速で乗換え搬送でき、しかも高速乗換え搬送中に複列の各薄物基板が互いに接触などの干渉が無い様に工夫した乗換え搬送装置を提供する。
【解決手段】 乗換え搬送装置１０に、一方の移送レール６の搬出側レール部６ａと他方の移送レール７の搬入側レール部７ａとの間を旋回移動する乗換えレール１１を旋回作動部に備えた水平旋回装置１２を設け、この前記水平旋回装置に前記乗換えレールと一体的に旋回移動される基板ガイド体３０と複列基板囲み体４０を設け、複列基板Ｗを吊持するハンガー治具３を前記乗換えレールの乗換え位置に固定できる乗換え位置固定手段５０を設けた。 （もっと読む）