【課題】真空ポンプによる吸引を許容しながら、しかも真空ポンプ側への高圧ガスの流入を阻止して、真空ポンプや真空計などを保護する。
【解決手段】弁箱(26)内に入口路(27)と遮断弁室(28)と出口路(29)とを順に形成し、遮断弁室(28)に弁座(32)を形成する。遮断部材(33)を遮断弁室(28)内に進退自在に挿入し、遮断弁室(28)内のガス圧力で弁座(32)側へ付勢する。弁箱(26)内に開弁作動室(30)を形成して、ピストン部材(35)を保密摺動自在に挿入する。ピストン部材(35)の一側に大気室(36)を形成し、他側に出口路(29)と連通する負圧室(37)を形成する。大気室(36)内の大気圧と負圧室(37)内の負圧との差圧によりピストン部材(35)を付勢する。ピストン部材(35)を遮断部材(33)に連係させ、入口路(27)から遮断弁室(28)へ流入するガスが設定圧力以下である場合に、ピストン部材(35)の移動により遮断部材(33)を弁座(32)から離隔させる。 （もっと読む）

緊急遮断弁（１０４）は加圧流体を用いて作動させる。圧力送信機（２００）は加圧流体源（１０６）に作動自在に連結可能であるとともに、緊急遮断弁の診断に関する指令を受信するように構成されている。圧力送信機（２００）は、選択された期間、加圧流体源（１０６）に関する圧力の読みを応答的に取り込む。ある実施形態では、取り込まれたデータに関する診断を圧力送信機（２００）が実行する。他の実施形態では、取り込まれたデータは解析のため外部装置に送られる。
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