【課題】駆動時の振動や電気ノイズを抑制するとともに、小型・軽量化が可能な流量調整デバイスを提供すること。
【解決手段】流量調整デバイス１０は、管１００内を流れる流体の流量を調整するデバイス（マイクロバルブ）であり、管１００内に設置され、温度変化により体積が膨張または収縮する変形部１と、該変形部１の外周の一部を覆うように設けられた黒色の板状部材２と、当該板状部材に対してレーザを照射するレーザ照射手段３とを備えている。板状部材２にレーザ照射手段３よりレーザを照射して板状部材２を加熱することにより、変形部１の温度を調整するよう構成されている。 （もっと読む）