【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体を逆流することなく、一方向のみに輸送するマイクロバルブの流量調節方法を提供する。
【解決手段】 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 （もっと読む）

【課題】 ピエゾ式インジェクタに使用されるピエゾ駆動装置においてピエゾ素子に初期荷重の負荷するばね部材形状を工夫し、負荷範囲が大きく、当接部が摩耗しにくいばね部材を得る。
【解決手段】 ばね部材３１は環状の板ばねからなり、板面の径方向断面形状を略Ｖ字状としてあるので、同スペースに設置可能な皿ばねよりばね力が大きくなる。ピエゾ式インジェクタのピエゾ駆動装置において、ピエゾスタックと一体に変位する第１ピストンと、縦穴の下端部に配設したプレート部材の間に、２個のばね部材３１を組み合わせたプリセットスプリングを配置するとき、ばね部材３１のＶ字の中間部３１３と第１ピストン、プレート部材の当接部では相対変位が生じないので、摩耗が防止できる。 （もっと読む）