流れシステムは、不活性、高純度、ましてや高腐食性の液体も含めた液体の可変の流体流量をもたらすために化学的に不活性な材料｛ピーテーエフイー（PTFE）｝で作られた比例弁を有する。多種類の気体も流れ制御され得る。該弁は求められる流体の種々の流量用に、手動によるか、又は駆動モーターの使用によるか、何れかで遠隔から又は電子的に、精密に設定される。該弁は、広い種類の複雑な流れ条件（圧力、温度そして粘性）用に精密で、繰り返し可能な最高分解能の流れ制御を提供するよう、特定の比例流れパラメーターが弁の構造及び構成にプログラムされることを可能にする。
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【課題】 長期の使用においてステータをフランジに固定する機構が破壊しにくく、万が一破壊した場合でもガス漏れに至らないようにする。
【解決手段】 ステータ４６を取り付け板５７に固定する機構を支持フレーム５９とし、取り付け板５７のシール面５７ｅより外側に支持フレーム５９との嵌合部５７ｃを形成している。これによって、嵌合部５７ｃが完全に大気室側にあることになり、破壊しにくく、万が一破壊した場合もガス漏れに至らない高い気密信頼性を有した遮断弁を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 手動でシリンダ装置のロッド部材を上昇・下降させることができ、しかも、大型化することがなく、また、コストを抑えることのできる入浴用リフタのバルブ機構を提供することである。
【解決手段】 プッシュピン１９、２０を押し込んで、弁体２７の切換動作を行うことができる構成にしている。 （もっと読む）