【課題】効率的にクライオポンプの劣化を監視することができるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの監視方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプは、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備える。クライオポンプの再生処理は、基本パージ処理と、排気処理と、必要な場合に追加実施される追加パージ処理と、を含む。追加パージ処理は、１回以上のガスパージ工程を含む。クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置８０において、劣化判定部８８は、１回の再生処理において追加実施が必要となったガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する。 （もっと読む）

【課題】適用対象により適合させた設計を可能とする極低温冷凍機、及びその冷凍機を適用したクライオポンプを提供する。
【解決手段】冷凍機５０は、長手方向に隣接する２つのディスプレーサを備え、高温側のディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含む。２つのディスプレーサの間に作動気体の直通流路が形成されている。クライオポンプ１０は、低温クライオパネル６０と、低温クライオパネル６０よりも高温に冷却される放射シールド４０と、冷凍機５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数のクライオポンプの圧力差が再生プロセスに与える影響を緩和する。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、粗引きポンプ７３を共用し、各々が粗引きバルブ７２を含む複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０の再生のために各粗引きバルブ７２を制御するＣＰコントローラ２０と、を備え、開放されている粗引きバルブ７２の閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブ７２の開放との間に遅延時間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、クライオポンプ内部開放空間３０に突出し放射シールド１６へと向けられているパネル末端を含み、そのパネル末端は、吸着剤の欠落した区域８２を有する。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、パネル前面が非凝縮性気体のための吸着領域７６と凝縮性気体のための凝縮領域８２とに区分されている。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの冷凍機の逆転昇温による昇温能力を高める。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、クライオパネル６０の冷却運転とクライオパネル６０の再生のための昇温運転とを行うための冷凍機５０を備えるクライオポンプ１０と、冷凍機５０に作動気体を供給するための圧縮機５２と、を備え、冷却運転よりも昇温運転において圧縮機５２の供給作動気体温度を高くする。圧縮機５２は、冷凍機５０に供給する作動気体を冷却するための熱交換器と、熱交換器を迂回するバイパス路と、を含んでもよい。制御部２０は、冷凍機５０の運転状態に応じて、熱交換器を経由する流路とバイパス路を経由する流路とを切り替えてもよい。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低減に寄与するクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを使用する真空排気方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネルを冷却するための冷凍機と、イオン注入装置１からその運転モードを表す制御信号を受信可能であり、該制御信号に基づいて冷凍機を制御するためのＣＰコントローラ１００と、を備える。運転モードは、目標にビームを照射する照射モードと、目標からビームを逸らすかまたは該照射モードよりも弱いレベルでビームを存続させるアイドルモードと、を含む。ＣＰコントローラ１００は、照射モード及びアイドルモードにおいてクライオパネルが気体分子を保持する冷却温度に冷却されるよう冷凍機を制御しており、アイドルモードの期間の少なくとも一部において冷却温度を照射モードよりも高くすることを許容する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプを良好に保管する。
【解決手段】クライオポンプ１０により排気する気体を受け入れるためのクライオポンプのポンプ口をポンプ蓋１００で塞ぐことと、クライオポンプ１０の内部を外部に連通する流体経路を通じてクライオポンプ１０の内部を減圧することと、を含むクライオポンプの保管方法が提供される。また、クライオポンプ１０に取り付けられているポンプ蓋１００の閉塞部材１０６を蓋本体１０２から取り外すことにより、クライオポンプ内部の負圧を解除することを含むクライオポンプの立ち上げ方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ内部の複数の異なる温度領域のそれぞれを所望の温度範囲に容易に収めることが可能となる。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３から延びるシリンダ部材１２と、第１冷却ステージ１３とは反対側のシリンダ部材１２末端に設けられた第２冷却ステージ１４と、を備え、シリンダ部材１２の内部における作動気体の膨張作用により寒冷を発生して第２冷却ステージ１４を第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却する冷凍機５０と、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されており、第２冷却ステージ１４が内部に配置されるようにシリンダ部材１２により貫通されている放射シールド４０と、を備える。シリンダ部材１２は、放射シールド４０から外向きにオフセットを有して放射シールド４０の外部に第１冷却ステージ１３が配置されるように放射シールド４０の内部から外部へと延びている。 （もっと読む）

【課題】 安定した吸着作用を維持するクライオポンプを提供すること。
【解決手段】 第一のシリンダと第二のシリンダとを有するクライオポンプは、第一のシリンダの表面と接触しているガス導入部と、第二のシリンダとクライオパネルとの間に配置されたガス導入部より導入されたガスを放出するガス放出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】プロセスチャンバとポンプとの間のバルブや導管に起因するコンダクタンス損失を低減または解消し、かつ、ポンプをプロセスチャンバのプロセス空間に流入する気体分子の気体分子源に対して最適な位置に配置することができるプロセスチャンバシステムを提供する。
【解決手段】本発明のプロセスチャンバシステム５００は、プロセス空間５１４を有するプロセスチャンバと、プロセスチャンバに着脱可能に取り付けられた複数の冷凍機５０２と、冷凍機５０２に着脱可能に取り付けられた複数のアレイ５０４とを備える。冷凍機５０２とアレイ５０４とがプロセスチャンバ内に延在して、プロセス空間５１４内に排気面を形成している。この排気面は、プロセス空間に連通する気体分子源の近傍に配置され得る。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが排気すべき気体の種類は用途によって異なる。さらにほとんどの場合において排気すべき気体は複数種類の気体の混合気体であり、クライオポンプには複数種類の気体それぞれを同時に効率よく排気することが要求される。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ容器１２と、冷凍機１４と、低温パネル１６と、中間パネル１８と、放射シールド２０とを含んで構成される。クライオポンプ容器１２は、排気されるべき気体が進入する吸気口を有する。放射シールド２０は一端に開口部を有する。低温パネル１６は、放射シールド２０の内部に配置され、放射シールド２０よりも低温に冷却される。中間パネル１８は、放射シールド２０よりも低温、かつ低温パネル１６よりも高温に冷却される。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー消費の少ない真空排気技術を提供すること。
【解決手段】冷凍機を有する真空排気ポンプの複数台が共通の圧縮機に繋がれており、複数台の真空排気ポンプのうちの少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が低圧状態から高圧状態に移行することにより、低圧状態のガスが断熱圧縮される工程と、断熱圧縮されたガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしており、複数台の真空排気ポンプのうちの他の少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が高圧状態から低圧状態に移行することにより、高圧状態のガスが断熱膨張する工程と、断熱膨張したガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしている。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】制御部は、真空装置において設定されている２段クライオパネル上限温度より低温に設定された警戒温度以上に２段クライオパネルが昇温されたか否かを判定する第１判定と、警戒温度を上限として設定された温度範囲に設定時間以上継続して２段クライオパネルが昇温されているか否かを判定する第２判定と、を１段クライオパネルの目標温度への制御中に行う。制御部は、クライオポンプの稼動当初に測定された２段クライオパネルの最低到達温度から排気運転中の２段クライオパネル温度が乖離した状態が設定時間よりも長く設定された持続時間以上継続したか否かを判定する第３判定を、目標温度への制御中に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプへの輻射熱低減及び排気速度向上を図る。
【解決手段】クライオポンプ１０は、開口２０を有する放射シールド１８と、放射シールド１８の内側に配置されるクライオパネル２４と、開口２０に配列された複数の羽板４１を含み、クライオパネル２４を開口２０に投影した投影領域よりも羽板４１を疎に配列した領域を投影領域の外側に有するルーバー２３と、放射シールド１８及びルーバー２３を第１冷却温度に冷却し、クライオパネル２４を第１冷却温度より低い第２冷却温度に冷却する２段冷凍機１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外部からの輻射熱の影響を軽減する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、第２段クライオパネル１４と、第２段クライオパネル１４を包囲し、シールド開口３１を有する放射シールド１６と、シールド開口３１に設けられている第１段クライオパネル３２と、を備える。第１段クライオパネル３２は、第１の分布で開放領域が形成されている第１パネル５０と、第１パネル５０よりも第２段クライオパネル１４に近接して配列され、配列方向に見て第１の分布とは異なる第２の分布で開放領域が形成されている第２パネル５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの最大気体吸蔵量を大きくする。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１を有するクライオポンプケース３４と、クライオポンプ開口３１からクライオポンプケース３４の内部へとクライオポンプケース３４に非接触に延びる第１シールド部材５０と、クライオポンプケース３４の内部においてクライオポンプ開口３１から離れた位置から第１シールド部材５０と間隔をあけてクライオポンプケース３４の内部へとクライオポンプケース３４に非接触に延びる第２シールド部材５２と、を含み、クライオポンプケース３４と第１シールド部材５０との隙間５６よりも第２シールド部材５２との隙間５８を狭くした放射シールド１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの最大気体吸蔵量を大きくする。
【解決手段】クライオポンプ１０は、一端に主吸気口３１が形成され側面に副吸気口５４が形成されている放射シールド１６と、放射シールド１６内部において主吸気口３１から離れる方向に向かって配列されそれぞれ少なくとも１つのクライオパネルを有する上部構造６０及び下部構造６６を含み、放射シールド１６よりも低温に冷却されるクライオパネル構造体１４と、を備える。副吸気口５４に接続される霜収容空間７０が、上部構造６０の下端のクライオパネル５８よりも下部構造６６の上端のクライオパネル６２の気体吸蔵量が大きくなるように上部構造６０と下部構造６６との間に形成されている。 （もっと読む）