【課題】 脈動が抑えられ、かつ耐久性が優れているダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】 回転駆動手段１と、これにより回転される第１軸４１と、第１軸４１の中心軸Ａ１に対して所定角度傾斜した中心軸Ａ２を有し第１軸４１に連結された第２軸４２と、内輪または外輪のいずれか一方に第２軸４２が結合された軸受１１と、軸受１１の内輪、外輪の他方に連結された複数の駆動アーム３１と、複数の駆動アーム３１の先端部に揺動自在に支承されたロッド２４によりダイヤフラム２１を往復移動させ流体を吸入弁から吸入し排出弁から排出する複数のダイヤフラムユニット２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】流体の脈動が生じることがなく、且つ高精度に一定量の流体を吐出することにある。
【解決手段】パイロット圧の作用下にボデイ１６の内部に形成された第１室２２に沿って変位自在に設けられたピストン２４と、非圧縮性流体からなり前記ピストン２４によって押圧される間接媒体２８と、前記間接媒体２８に連動して撓曲するダイヤフラム４８とを備え、吐出ポート５４ａから流体Ａを吐出する際、ピストン２４の軸方向変位による容積変化と前記ダイヤフラム４８の軸方向変位による容積変化とが同一となるように設けた。 （もっと読む）