【解決手段】
原子層沈着（ＡＬＤ）システムで使用するためのダイヤフラムバルブ（２００）が開示される。一実施例では、加熱ボディ（２９０）は、ダイヤフラム（２２０）とバルブボディ（２１０）との間の熱伝導経路を形成し、ダイヤフラムで作動温度を維持させ、高温前駆ガスがバルブ通路（２１４）内で凝結又は凍結することを防止する。別の実施例では、ダイヤフラムの背後で覆い空間（２９６）と連通する圧力排出口（３０２、３０６、３１０）は、ダイヤフラムの開位置及び閉位置の間の移行に対する抵抗を減少させる。ポンプ又は吸引源（３１６）は、覆い空間内で流体圧力を減少させるため圧力排出口に連結される。別の実施例では、バルブシート（２３０）は、バルブの入口（２１６）を取り囲み、閉じられるときのダイヤフラムの側部の大部分と接触する環状座席表面を備え、熱輸送を容易にし、ダイヤフラムの散逸的冷却を相殺させる。 （もっと読む）

本発明は、弁閉鎖部材（５）が、弁タペット（４）と弁座（１４）との間で、回転の中心点（Ｄ）の回りを自動調心する態様に配置されている電磁弁に関する。
（もっと読む）

【課題】コイルに供給する電流値に対する出力圧の線型性および応答性が良好となる電磁弁装置の制御方法を提供する。
【解決手段】プランジャ１７とプランジャ１７を往復移動可能に収容している収容部１３とが直接摺動し、コイル２０に供給する電流値に対し出力圧が線型に変化する電磁弁装置１において、コイル２０に供給する電流は通常、一定周波数、例えば３００Ｈｚである。しかし、電流値の高さ、出力圧の高さおよび流体の粘度によりプランジャ１７の移動が妨げられて電流値に対して出力圧が曲線を描く場合がある。その場合は、コイル２０に供給する電流の周波数を約半分の１５０Ｈｚに低下することによりプランジャ１７が振動して移動を行いやすくなり、移動開始から出力圧を変化させるまでに要する時間が通常周波数と比較して早くなる。したがって、電流値に対する出力圧の線型性および応答性が良好となる。 （もっと読む）

【課題】可動コアとその収容部とが直接摺接する摺接面の摩耗を低減すること。
【解決手段】電磁駆動装置１００は、可動コア３０と、可動コア３０を往復移動自在に収容する収容部１２と往復移動方向の一方向へ可動コア３０を吸引する磁力を可動コア３０に作用する吸引部１３とを有し、可動コア３０と共に磁気回路を形成する固定子１０とを備える。収容部１２と可動コア３０とが摺接する摺接面１２ａ，３０ａの少なくとも一方は、ガス軟窒化処理、塩浴軟窒化処理、浸硫窒化処理又は窒化処理が施されており、処理後の面粗さが所定の範囲内に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 流体の漏れを簡単な構造で防止する電磁弁装置を提供する。
【解決手段】 固定コア１２は、収容部１３と、吸引部１５と、収容部１３と吸引部１５とを結合する薄肉部１４と、フランジ部１６とを有し、有底カップ状に一体に形成されている。収容部１３の底部は閉塞されており、吸引部１５の端部は開口している。収容部１３は可動コア２５を往復移動自在に支持している。薄肉部１４は収容部１３と吸引部１５との間で磁束が漏れることを防止する磁気抵抗部である。吸引部材２０は磁性材で円筒状に形成されており、固定コア１２の開口側に位置する吸引部１５の内壁に圧入されている。吸引部材２０は可動コア２５の往復移動方向上で可動コア２５と向き合っている。コイル３１に通電すると、吸引部材２０と可動コア２５との間に可動コア２５を吸引する磁気吸引力が発生する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で安定して高速開弁動作が可能な電磁弁駆動装置を提供する。
【解決手段】 フリップフロップ回路５０には単安定回路５１からの単安定信号が入力される。単安定回路５１からオンの信号が入力される毎にフリップフロップ回路５０のセット状態とリセット状態とが切り替わり、それと同時に第１の駆動コンデンサＣ１の放電スイッチング素子としてのＭＯＳトランジスタＨＳ１と第２の駆動コンデンサＣ２の放電スイッチング素子としてのＭＯＳトランジスタＨＳ２のいずれか一方のベースへのドライブ回路４１または４２を介して昇圧された入力信号がオンになる。これにより、第１の駆動コンデンサＣ１または第２の駆動コンデンサＣ２のいずれか一方が放電され共通回路３００に大電流が供給される。 （もっと読む）