【課題】永久磁石を用いた受動型磁気軸受は、大型支持体を低価格で安定に回転させることが困難である。一方、水蒸気の排気速度を増大させるためにクライオトラップを付加すると同時に高温超伝導磁気軸受を利用するのは、高温超伝導体のコストと冷凍機の冷凍能力が過大となるため、システム全体でかえって高価格となる。
【解決手段】小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの前段に、クライオトラップと高温超伝導磁気軸受で支持された中型高真空ブースターポンプを配置する。中型高真空ブースターポンプを非接触電磁誘導結合機により、後段の小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプと結合させ、小型ボールベアリング式ターボ分子ポンプの回転トルクで中型高真空ブースターポンプを回転させ、中型相当のターボ分子ポンプの排気速度を実現し、しかもクライオトラップで水蒸気の排気速度はクライオポンプ相当である真空ポンプシステムを実現する。 （もっと読む）

【課題】粗引き用のサブポンプ等を用いず、高真空用ロータを高速回転させることができる真空ポンプを提供する。
【解決手段】第１の回転ポンプ部３、４は第２の回転ポンプ部２に比し高い圧力領域で回転し排気動作を行なうための低真空用ロータ３０１、４０１を備え、第２の回転ポンプ部２は、第１の回転ポンプ部３、４に比し低い圧力領域で回転し排気動作を行なうための高真空用ロータ２０１を備え、駆動モータ７は低真空用ロータ３０１、４０１を回転駆動し、上記マグネットカップリング９は、低真空用ロータ３０１、４０１と高真空用ロータ２０１とをその回転方向に磁気的に結合する手段として、同極どうしが互いに向かい合うように配置した駆動側磁石体９−１と被駆動側磁石体９−２を備えてなるとともに、その駆動側磁石体９−１が低真空用ロータ３０１、４０１に取り付けられ、被駆動側磁石体９−２が高真空用ロータ２０１に取り付けられるものとする。 （もっと読む）

【課題】ダクト付きの単一のバルブ・アセンブリであって、前記バルブ・アセンブリを、内側ダクトおよび外側ダクトを有する同軸接続によって、クライオポンプに接続するパージ弁ポートを備えた統合化クライオポンプ・バルブを提供する。
【解決手段】加圧気体との接合部が、内側ダクトを介して加圧気体の供給源をクライオポンプに接続している。粗引き弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを粗引き真空ポンプに接続でき、逃がし弁ポートによって、前記バルブ・アセンブリの外側ダクトを排気筒に接続できる。 （もっと読む）