本発明は、シーグバーン・ポンプ機構（１４）と直列接続のターボ分子ポンプ機構（１２）を含む真空ポンプ（１０）を提供する。気体がターボ分子ポンプ機構及びシーグバーン・ポンプ機構の両方を通過することができる第１のポンプ入口（１６）が、設けられる。さらに、気体がターボ分子ポンプ機構とシーグバーン・ポンプ機構との間の場所においてポンプに入り、シーグバーン・ポンプ機構のみを通過することができる段間（入口）１８が、設けられる。段間入口（１８）と流体連通する、シーグバーン・ポンプ機構の第１の複数の段（３２、３４）内の流路（５２、６２）が存在し、段間入口を通ってポンプに入る気体は、前述の流路に沿って並行排気される。
（もっと読む）