【課題】絞りを有する軸受部材を保持する保持部材の材料にセラミック等の低熱膨張率を有する材料を用いた場合に、両者を圧入および接着によって堅固に固定し、高剛性かつ高精度な静圧気体軸受を実現する。
【解決手段】ローター１０に対するラジアル軸受すきま６、スラスト軸受すきま７に気体を噴出する絞りを有する軸受部材１は、保持部材２に対して接着剤１３を介した圧入によって固定される。軸受部材１と保持部材２の嵌合部をテーパー状にすることで、最適な締め圧で固定することが可能となり、また、嵌合面を直接接触させるための凸部１１や、接着剤１３を収容するための凹部１２を設けることで、均一な接着層を用いた接着と高剛性の接触結合による堅固な一体構造を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 長尺であっても、気体膜を形成する空気をその滞留を避けるように適宜に外部に逃がし得て当該空気の発熱を抑えることができ、軸受面側及び可動体側の熱膨張を回避できて軸受面に対する可動体のより高速な移動、特に回転を可能にする多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、裏金２と、裏金２の内面３に環状隙間５を挟んで並置された多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂと、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの夫々に高圧気体を供給する供給手段１２と、多孔質金属焼結層６ａ及び６ｂの端面１３及び１３ａ並びに１４及び１４ｂに一体に接合された封止材１５ａ、１５ａｂ及び１５ｂと、封止材１５ａｂに設けられている径方向の貫通孔１６と、貫通孔１６を裏金２の外部に連通させる貫通孔１７とを具備している。 （もっと読む）

【課題】シール部の隙間の変化を抑えることができるスピンドルシール装置を提供する。
【解決手段】軸受１１と、当該軸受１１を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された回転軸１３とを備えたスピンドル装置に静圧の気体軸受１５を配し、前記気体軸受から吹出される圧縮空気３０の圧力及び流れによって、スピンドル装置１０の内部と大気側との間を密封可能にしてなるスピンドルシール装置１であって、前記気体軸受１５の外周側に軸１３と同一若しくは近似の熱膨張係数を有する金属製のリング部材３１を嵌装してなる。 （もっと読む）

【課題】 多孔質金属焼結層への切削加工又は研削加工の施工後のエポキシ樹脂又はフェノール樹脂からなる封止材による封止作業工程を必要とすることなく、多孔質金属焼結層の端面の確実な封止を長期にわたって維持することができる多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体ラジアル軸受１Ａは、裏金２と、裏金２の内面３に内面３に形成された接合層４を介して一体に接合された多孔質金属焼結層５と、多孔質金属焼結層５に高圧気体を供給すべく、裏金２の内面３に形成されている環状溝６及び７を有した供給手段９と、裏金２の軸方向の各端部の内面に接合層４を介して接合されていると共に多孔質金属焼結層５の軸方向の環状の端面１０及び１１の夫々に一体に接合された純銅からなる封止材１２とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
第１の部材２１Ａと第２の部材２１Ｃとが、フランジ部３０Ａの端面３０ＡＬ，３０ＡＲと対向する面を微小なスキマとする。即ち、本体２１の軸線寸法を変えることなく、差動排気シールのシール機構を向上させることができ、スキマの極小化も容易に図れる。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
プロセス室に外部から異物が侵入することを抑制できる位置決め装置の停止方法及び位置決め装置を提供する。
【解決手段】
メンテナンス時などにおいては、まず、プロセス室Ｐの排気を停止し、不図示の導入口からプロセス室Ｐ内に窒素ガスなどの不活性ガスを導入して、１０００Ｐａ（所定の内圧）程度まで圧力を増大させる。その後、バルブＶ０を閉止する。プロセス室Ｐが所定の内圧に達する前は、第１の差動排気シールの差圧室１５１を排気することで、外部の異物がプロセス室Ｐ内に侵入することを抑制できる。但し、プロセス室Ｐが所定の内圧に達した後は、第１の差動排気シール１５１の差圧室１５１の排気を中断しても、外部の異物がプロセス室Ｐ内に侵入する恐れは低く、それによりメンテナンス終了後においてプロセス室Ｐ内で行われる加工を適切なものとできる。 （もっと読む）

【課題】
製造コストを抑えながらも、部品同士の競り合いを抑制できるシール装置を提供する。
【解決手段】
本体２１、回転軸３、ベアリングブロック２２及びベアリング２２ａ、２２ａの寸法誤差が積み重なり、本体２１と回転軸３との間に軸ズレが生じた場合には、その軸ズレに応じて静圧軸受の調心作用により回転軸３に対してシールユニット２７が半径方向、軸線方向、或いは軸線が傾く方向のいずれか１つ以上の方向へ付勢されることとなる。かかる場合、Ｏ−リング３０，３０，３１のいずれか１つ以上が弾性変形することで、本体２１に対する上記いずれか１つ以上の方向へのシールユニット２７の変位を許容できることから、結果的に回転軸３とシールユニット２７との競り合いが抑制される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら軸線ズレを抑制できる静圧回転軸及びそれを用いた支持装置を提供する。
【解決手段】軸線ズレが生じると、第１の絞り部の圧力伝達媒体の流れ方向下流側にある大径円筒状の静圧面ＬＳＰと支持面ＬＨＰとのスキマΔＬ’は、第２の絞り部の下流側にある小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマΔＳ’より広く、小径円筒状の静圧面ＳＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＳは、大径円筒状の静圧面ＬＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＬより大きくなるため、ズレ量に応じて増大するその力の差分（ＦＳ−ＦＬ）により、大径円筒状の静圧面ＬＳＰと大径円筒状の支持面ＬＨＰとのスキマと、小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマが等しくなる方向に、前記静圧回転軸ＳＲＳを移動させる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成ながら静圧回転軸の軸線傾きを抑制できる支持装置及びそれを有する加工機を提供する。
【解決手段】第１の静圧面ＳＰ１が受ける力Ｆ１は、第２の静圧面ＳＰ２が受ける力Ｆ２は、Ｆ１＞Ｆ２となることより、その差に重心までの距離を乗じた値が、静圧回転軸ＳＲＳに時計回りの方向にモーメントとして傾き補正を行うための復元力となる。軸線の傾きが大きくなれば、スキマの差と圧力伝達媒体の圧力差も大きくなり、復元力は増大する。図３で図示していない、下部円板部ＬＣの左半部でも同様に生じており（但し下部円板部ＬＣの下面が第１静圧面で、その上面が第２静圧面）、従って復元力としてのモーメントは２倍となるため、高い復元力により軸線の傾きを自律補正可能な構成である。 （もっと読む）

【課題】差動排気シールおよび静圧気体軸受を有する軸受部の軸部材３０とのギャップ変動を抑えて組立調整を容易にする駆動装置を提供する。
【解決手段】差動排気シールおよび静圧気体軸受を有する軸受部の軸部材３０とのギャップ変動を抑えて組立調整を容易にするために、筐体２０の孔２２に挿入された軸部材３０をシールする差動排気シール５０を、孔２２に挿入された略円筒状のハウジング５６内に設ける。このハウジング５６内には、多孔質グラファイトからなる静圧軸受７２、７３を有する軸受部７０が設けられている。 （もっと読む）