【課題】制御手段が停止した場合のテーブルの惰性進行をバネの反力により抑制し、テーブルに過度の負荷が発生したエマージェンシーにおいてのみ静圧軸受けを接地させる２段構えのフェールセーフ機構を実現できるようにする。
【解決手段】本体ベース１と、本体ベース１上で静圧軸受け３，４により空気浮上され、リニアモータによりＹ方向に移動し、保持した基盤等を所定の位置まで搬送する位置決めテーブル機構５を備えた基盤搬送装置において、本体ベース１上に設置され、伸縮動作により突出し、テーブル機構５と接触してＹ方向への進行を抑制するよう構成されたリーフスプリング１０と、リーフスプリング１０が一定量以上変位したときに押下されるリミットスイッチ１１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】コーティングロールが撓んだり、コーティングロールに重力方向以外の外力が加わったりしても、コーティングロールの回転軸心が変動することがなく、高い回転精度を実現する。
【解決手段】
ロール１４の回転軸２２を回転自在に支持する油圧式静圧軸受２６と、油圧式静圧軸受２６を支持すると共に、ロール１４の重力方向の撓みにのみ追従するように油圧式静圧軸受２６の傾動を許容するすべり軸受２７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとの間に気体を供給して気体軸受を形成するピストン装置において、ピストンとシリンダとの接触をより確実に回避するとともに、前記気体軸受を形成するための気体の消費量を抑制すること。
【解決手段】スターリングエンジン１は、シリンダ１１と、シリンダ１１の内部で往復運動するピストン１０とを備える。ピストン１０は、ピストン頂部１０Ｔとピストン側部１０Ｓとピストン底部１０Ｂｏとで囲まれるピストン内空間１０ＩＮを備える。前記空間１０ＩＮには、ポンプ２５及び蓄圧タンク２４を介して空気Ｇが供給され、この空気Ｇは、ピストン１０とシリンダ１１との間に流出して気体軸受を形成する。そして、ピストン１０とシリンダ１１との間に介在する空気Ｇの圧力は、ピストン１０とシリンダ１１とが接触したか非接触であるかによって変更される。 （もっと読む）

第２の部品（２２）に対して回転可能な第１の部品（２４）を備える回転式の気体軸受（２０）が記述される。第１の部品（２４）は、サポート部材（２６）およびサポート部材（２６）に取り付けられた第１の部分（３０）および第２の部分（３２）を備える。第１の部分（３０）は、第１の軸受表面（３４）を備え、第２の部分（３２）は、第２の軸受表面（３６）を備える。第１の部分（３０）および第２の部分（３２）は、ねじ込み接続によりサポート部材（２６）に取り付けられる。第２の部品（２２）は、相補的な軸受表面（３８、４０）を備える。第１および／または第２の部分（３０、３２）をサポート部材（２６）に固定するために、エポキシ樹脂を使用可能である。また、軸受を通る気体流を測定することにより軸受作動ギャップを決定する方法が記述される 。
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【課題】本発明は静圧空気軸受けがガイド面に非接触状態を維持しているか否かを監視することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、静圧空気軸受け２２が非接触状態を維持しているか否かを監視する監視装置８０を有する。監視装置８０は、電圧検出回路８２と、判定回路８４と、報知手段８６とを有する。電圧検出回路８２は、複数の信号線６６を介して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３に電圧を印加し、信号線７６からの電圧と比較して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差を検出する。判定回路８４は、静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差に応じた検出信号に基づいて静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との接触の有無を判定する。報知手段８６は、判定回路８４により静圧空気軸受け２２_１〜２２_３の何れかと固定側電極６０との接触が発生したと判定された場合に報知する。 （もっと読む）