本発明はピストン機関（１）に関する。これはピストン（３）とハウジング（２）とから構成されている。ピストン（３）がハウジング（２）内で移動可能に磁気軸受されている。ピストン（３）の磁気軸受のための装置（７）がハウジング（２）に対して相対的に位置を固定されて配置されている。第１ピストン（３）の磁気軸受と併せたリニア機械（１５）は、摩擦防止をもたらし、従って機械エネルギを電気エネルギに変換するための機械が潤滑油注入を要することなく少ない機械費用でもたらされる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、運動案内装置における移動体の移動抵抗をより小さくしまたは、より安定させることができる技術を提供する。
【解決手段】移動ブロック１と、移動ブロック１を多数のボール５介して往復移動可能に支持する軌道レール３と、を備えた運動案内装置であって、互いに離間した２部材を有するとともに該２部材の間に非接触力である吸引力または反発力を発生させる非接触力発生手段をさらに備える。接触力発生手段における２部材のうち一方は、移動ブロック１に設けられた永久磁石６であり、非接触力発生手段の２部材のうち他方は、軌道レール３に設けられた磁性体部７である。永久磁石６と磁性体部７とは、軌道レール３に対する移動ブロック１の進行方向に対して平行な平面で互いに対向して配置される。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で基板等を搬送する際に、搬送機構によるパーティクルの発生を防止する。
【解決手段】真空チャンバ２内に移動可能に配置され、被搬送物（基板２０）を支持、搬送する支持体５と、チャンバ外から支持体５に磁力を介して運動伝達する磁気運動伝達機構を備える。真空雰囲気のチャンバ内においてローラや歯車などの回転体を用いず、磁気運動伝達することができ、搬送時のパーティクルを極力少なくする効果がある。さらに、チャンバ外への無駄な設置面積を必要としない。また、磁気運動伝達機構と回転機構を併用することにより、基板の受渡し、搬送時に任意の角度を設定でき、装置設計時の自由度が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】車輪支持アッセンブリ上に支持された車両ボディに伝達される力をかなり減少させることを容易にするように粗い表面に亘って移動する車両車輪支持アッセンブリからのエネルギーを能動的に吸収し、又は、該アッセンブリにエネルギーを印加するための、経路に沿った、典型的には線形の制御可能な力源を得る。
【解決手段】ステーターとアーマチャーとを備える電磁変換器を有し、該アーマチャーは、第１の軸を画定すると共に、第１及び第２のカプラーの間に載るように第１の軸に沿ってステーターに対して前後に駆動される。第２のカプラーは、第１の軸に直交する第２の軸に沿ってアーマチャーの運動を可能とするように構成される。 （もっと読む）

【課題】表面硬さが高くしかも耐食性にとみ、また転動体により応力が集中してもクラックが発生せず、長期にわたり表面硬化層を維持でき、ひいては長寿命化が達成できる高耐食性・非磁性直動装置を安価に提供する。
【解決手段】例えば、外方部材であるベアリング２と内方部材であるガイドレール１とが、その間に挿入された複数個の転動体Ｂの転動を介して相対移動するようにした直動装置としてのリニアガイド１０において、ベアリング２とガイドレール１との少なくとも一方を、耐食性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼を用いて所定形状に塑性加工したものとして硬さを高め耐久性を向上させた。さらにその表面に特殊の炭素固溶化層を設けたことで上記課題を達成できた。 （もっと読む）