【課題】限られたスペースにおいて発熱体の抵抗調整が可能であるとともに、各種サイズに対応可能な発熱体ユニット及び加熱装置を提供する。
【解決手段】本発明は、フィルムシート状の発熱体素材（２Ａ）に対して、面方向に複数の切り込み（Ｃ１，Ｃ２）を設ける切り込み処理と、厚み方向に加圧する加圧処理と、拡張処理とを実行して、発熱体の抵抗調整を行うとともに、発熱体に可撓性、柔軟性、及び弾力性を持たせて発熱体を伸長することにより、任意の配熱構成と各種仕様に対応可能な発熱体ユニット及び加熱装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】発熱金属細線と引出し電線等の接続部を熱溶融性接着剤を用いてシート状基材に絶縁固定するものにおいて、シリコン系離型剤を用いることなく前記熱溶融性接着剤を所定形状に素早く固化することができる面状発熱体を提供する。
【解決手段】面状発熱体１は、樹脂材等柔軟性を有するシート状基材２と、前記シート状基材２に適宜装着された発熱金属細線４と、前記発熱金属細線４と引出し電線６とを接続する接続部とを具えた面状発熱体であって、前記接続部が熱溶融性接着樹脂にて前記シート状基材２に絶縁覆着され且つ成型治具１４にて所定形状に固化された固定部１１を備えたものである。
また、前記シート状基材上の所定位置において前記接続部に所定量のホットメルト塊１７を吐出するとともに冷却された成型治具１４にて所定形状に押圧固化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 載置台と背面プレートを備えるヒータユニットについて、均熱性を維持向上させながら、昇温速度及び降温速度の高速化を図ると共に、そのヒータユニットを搭載することで、高いスループットを達成し得る半導体やフラットディスプレイパネルの製造検査装置を提供する。
【解決手段】 ヒータユニット１０の載置台１１と背面プレート１２の間に高熱伝導シート１４を挿入することにより、熱移動を載置台１１の処理面１１ａと平行方向に広げ、優れた均熱性を確保する。また、載置台１１の厚みを薄くしてヒータユニット１０の熱容量を低減し、冷却ブロック３をヒータユニット１０の背面プレート１２に当接又は分離させて、昇温速度及び降温速度の高速化を図る。 （もっと読む）