【課題】常に一定の温度制御と、１８５０度以上の高温領域における温度制御が可能な加熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理室と、処理室内に設けられた加熱物支持部材と、加熱物支持部材内に配置された加熱手段と、加熱物支持部材の温度を測定する温度測定手段とを有する加熱処理装置であって、温度測定手段が、処理室の周壁に設けられた加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを透過可能な透過窓の外部に配置されており、温度測定手段が、加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを集光する集光部と、赤外線内の２波長の強度比に基づいて温度を算出する算出部とを有する。 （もっと読む）