【課題】真空熱処理装置のシーリング用Ｏリングの劣化を防止する。
【解決手段】加熱容器（３）を排気ポンプへ結合し且つ真空処理チャンバ内に収容する接合チャンバの開口周囲フランジ（１３）と加熱容器（３）の開口周囲フランジ（１５）との接合面はＯリング（２１）でシーリングされる。接合チャンバの開口フランジ（１３）の開口縁にひさし状の突起部（２４）を設け、約１μ程の接合面の隙間から輻射熱が入りＯリングを加熱しないような構成によって、Ｏリングの劣化を防止している。 （もっと読む）

【課題】大きなサイズのウエハであっても均一なアニール処理が可能な、加熱プレート内の温度均一性が高い電子衝撃加熱装置を提供する。
【解決手段】天板２ａを有するヒーター容器２内に、螺旋状のフィラメント４と、該フィラメント４の螺旋で囲まれた領域内に反射板３を備え、該反射板３が、フィラメント４の天板２ａに最も近い位置Ｄに上面を有し、直径がフィラメント４の螺旋の直径Ｒの１０％以上の円板３ａと、該３円板３ａの外径と同じ内径を有し、外径がフィラメント４の螺旋の直径よりも大きいリング板３ｂと、円板３ａの外周とリング板３ｂの内周とを連結する円筒板３ｂとから構成され、フィラメント４から発生した熱電子を、天板２ａの外周部に優先的に衝突させる。 （もっと読む）