【課題】ウェハの直径が大きくなる傾向にある近年、重ねあわされる互いのウェハ全面において均一に加熱することが困難になってきている。
【解決手段】ウェハを加熱する加熱モジュールは、被加熱体を載置する載置面を有するステージ部と、ステージ部の載置面とは反対の被加熱面に配置される複数のヒータプレートとを備え、複数のヒータプレートは、少なくとも載置面に対応する領域を覆い、隣接する辺が互いに平行を保って離間して配置される。 （もっと読む）

【課題】発熱体の給電端子との接続部における熱ロスを低減することができるヒーターユニット及び熱処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るヒーターユニットＨＵａは、発熱体Ｈａと、給電端子２０と、中間体４０とを具備する。給電端子２０は、金属材料でなり、発熱体Ｈａへ電力を供給する。中間体４０は、炭素系材料でなり、発熱体Ｈａと給電端子２０との間に接続されている。中間体４０は、発熱体Ｈａと給電端子２０との間を断熱する機能を有する。このため、給電端子２０が冷却操作されているような場合においても、発熱体Ｈａの熱ロスを抑制することが可能となる。したがって、上記ヒーターユニットＨＵａによれば、発熱体Ｈａの給電端子２０との接続部における温度低下を防止して、均熱性の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）