【課題】硫酸をベースにした流体を加熱する場合でも加熱効率の低下を抑制できる流体加熱装置を提供する。
【解決手段】本発明の流体加熱装置は、硫酸をベースにした薬液を加熱する流体加熱装置であって、石英等からなり透光性を有する内管３ａと、前記内管内に配置されたランプヒーター４と、前記内管の外側に配置された石英等からなり透光性を有する外管２と、前記外管の両端に配置された石英等からなり透光性を有する側板１５ａ，１５ｂと、前記外管と前記内管との間に配置された光吸収材としてのアモルファスカーボンパイプ１と、を具備し、前記アモルファスカーボンパイプ１は、前記外管と前記内管との間に流される薬液に接触するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 加熱対象物を効率良く加熱できるヒーター素子を提供する。
【解決手段】 本発明のヒーター素子１００は、少なくとも２本の導体１Ａ、１Ｂと、導体１Ａ、１Ｂのそれぞれと接触する様に設けられるＰＴＣ部材３と、導体１Ａ、１ＢとＰＴＣ部材３とを包囲する第１樹脂層５と、を備え、第１樹脂層５は、樹脂中に分散される多孔性セラミック粒子を含有することを特徴とする。このように構成することで、加熱対象物に対しては、ヒーター素子１００からの熱伝導による加熱と、ヒーター素子１００から放出される遠赤外線による加熱とが行われることになり、加熱対象物を効率よく加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】バルブの外面に光学多層膜を形成することにより、バルブを透過する光の波長が８３０ｎｍ付近でピークとなるように構成した管形ヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、放射透過性のバルブ１１内部に白熱フィラメント１２を封装し、また、バルブ１１外面に光学多層膜２を形成し、これにより、バルブ１１を透過する光の波長が８３０ｎｍ付近でピークとなるようにした管形ヒータである。光学多層膜２は、高屈折率膜２１及び低屈折率膜２２を交互に積層して形成されている。 （もっと読む）